美國(guó)Entegris氣體過(guò)濾器WGMXMSRR2

美國(guó)Entegris氣體過(guò)濾器WGMXMSRR2

美國(guó)Entegris氣體過(guò)濾器WGMXMSRR2

一般特征

•寬的FS流量測(cè)量和控制范圍

從< 3ccm到2500 lpm (N2

當(dāng)量)

•精度高達(dá)1200 lpm:±1.0%的速率(20%-100%

±0.2% FS(低于20% FS)

1200-2500 lpm:±1% FS包括線性。

(校準(zhǔn)條件)。

•傳感器穩(wěn)定性行業(yè)。長(zhǎng)期漂移

每年績(jī)效< 0.2%。增加系統(tǒng)

通過(guò)減少維護(hù)和消除吞吐量

定期調(diào)整配方。

•存儲(chǔ)多達(dá)10個(gè)可選校準(zhǔn)曲線。

通過(guò)限制庫(kù)存來(lái)減少備件庫(kù)存

單個(gè)MFC/M的數(shù)量需要降低

庫(kù)存持有成本。

•彈性體下端口工藝連接選項(xiàng)

符合ANSI/ISA SP-76標(biāo)準(zhǔn)

簡(jiǎn)化了安裝和維護(hù)的效率

足跡。

控制反應(yīng):

•沉淀時(shí)間小于1秒。

(在請(qǐng)求)。

•軟啟動(dòng)可用于定制MFC性能

過(guò)程的要求。

•專有的自適應(yīng)閥門(mén)控制算法是

這保證了意外的變化

工藝壓力不會(huì)導(dǎo)致流量偏離

定位點(diǎn)。

模擬I / O選項(xiàng):

•15針D-Connector

•0(1)-5伏或0(4)-20毫安設(shè)定值和流量信號(hào)

•單面24伏直流電源

(13.5-27伏直流范圍)。

•獨(dú)立的閥門(mén)覆蓋信號(hào)

•精密5伏參考輸出信號(hào)

•與布魯克斯0150系列型號(hào)兼容

二次電子

•TTL(開(kāi)路采集器)告警輸出信號(hào)

數(shù)字通信選項(xiàng):

•DeviceNetTM, ODVATM認(rèn)證

•FOUNDATIONTM現(xiàn)場(chǎng)總線，H1認(rèn)證

•基于HART®RS-485多點(diǎn)傳輸

描述

Brooks instruments的SLA5800系列是一種彈性體

密封數(shù)字熱質(zhì)量流量測(cè)量和

控制儀器，提供了的靈活性

和性能。SLA5800系列MFC是

設(shè)計(jì)用于*氣體處理系統(tǒng)。

結(jié)果是最準(zhǔn)確的，可重復(fù)的，和

今天市場(chǎng)上的響應(yīng)式MFC !

寬的流量范圍

SLA5800系列涵蓋了非常廣泛的范圍

的流量。SLA5850型可以有全比例的流量

低至3厘米。在50:1的高壓下比下，

準(zhǔn)確的氣體流量可以測(cè)量或控制下來(lái)

ccm 0.06 !SLA5853型可以測(cè)量或控制氣體

流量高達(dá)2500公升/分鐘。

快速響應(yīng)性能

全數(shù)字電子和*的機(jī)械

SLA5800系列中的配置提供了超

快速響應(yīng)特性。沉降時(shí)間

少于一秒，但布魯克斯的

自適應(yīng)閥控可以實(shí)現(xiàn)響應(yīng)時(shí)間的

0.2秒。

廣泛的通信選項(xiàng)

Brooks®提供傳統(tǒng)的0-5伏和4-20mA模擬

選項(xiàng)，以及RS-485數(shù)字通信(“Sprotocol”，

基于HART)。布魯克斯還提供了控制

接口通過(guò)數(shù)字網(wǎng)絡(luò)協(xié)議，如DeviceNet，一個(gè)

高速(高達(dá)500k波特)數(shù)字通信

網(wǎng)絡(luò)或FOUNDATION®現(xiàn)場(chǎng)總線。布魯克斯

通信能力和設(shè)備配置文件

通過(guò)ODVA(開(kāi)放DeviceNet供應(yīng)商的)認(rèn)證

和ITK互操作性測(cè)試套件。其他

網(wǎng)絡(luò)協(xié)議正在開(kāi)發(fā)中。跟你的

布魯克斯代表向您詳細(xì)介紹您的具體需求。