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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>離子注入設(shè)備>離子注入機(jī)>Q-One 單離子注入聚焦離子束測(cè)試設(shè)備

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Q-One 單離子注入聚焦離子束測(cè)試設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) Q-One
  • 產(chǎn)地 英國
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2024/12/10 11:18:43
  • 訪問次數(shù) 1665

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科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國用戶提供儀器、設(shè)備,周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國家*接軌的儀器設(shè)備平臺(tái)來實(shí)現(xiàn)??祁TO(shè)備有限公司有幸成長在這個(gè)火熱的年代,我們?cè)敢饣癁橐蛔鶚蛄海娮C中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。
      科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國香港,在中國上海設(shè)立了分公司,在國內(nèi)多個(gè)城市設(shè)立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供*的產(chǎn)品和服務(wù)。2010年,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉庫及維修中心,同時(shí)提供在大陸的各項(xiàng)技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn)。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時(shí)電話響應(yīng),72小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場(chǎng)維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務(wù)!
      因?yàn)樾湃?所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經(jīng)為國內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導(dǎo)體所,中科院大連化學(xué)物理研究所,國家納米中心,上海納米中心,北京大學(xué),清華大學(xué),中國科技大學(xué),南京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),上海交通大學(xué),華東理工大學(xué),浙江大學(xué),中山大學(xué),西安交通大學(xué),四川大學(xué),中國工程物理研究院,香港大學(xué),香港城市大學(xué),香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)等。



光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測(cè)試系統(tǒng)

單離子注入聚焦離子束測(cè)試設(shè)備

量子和納米級(jí)材料工程的先進(jìn)平臺(tái)

Q-One™是先進(jìn)的聚焦離子束平臺(tái),用于先進(jìn)的器件制造和納米級(jí)材料工程。Q-One具有確定性單離子注入功能,是第一臺(tái)專門為滿足量子研究的苛刻要求而設(shè)計(jì)的儀器。

主要特點(diǎn):

  • 高分辨率質(zhì)量過濾聚焦離子束

  • 確定性單離子檢測(cè),檢測(cè)效率高達(dá)98%

  • 可選擇液態(tài)金屬或等離子離子源

  • 離子選擇和廣泛的植入物種類

  • 飛安級(jí)光束電流,可實(shí)現(xiàn)精確的單離子事件

  • 納米級(jí)精密載物臺(tái),可處理高達(dá) 6 英寸的晶圓

  • 專有的注入和光刻軟件

確定性植入

確定性單離子注入意味著以令人難以置信的精度將單個(gè)離子放入底物中,并知道已經(jīng)發(fā)生了注入。Q-One使用超靈敏植入后檢測(cè)系統(tǒng)技術(shù)來檢測(cè)每次離子撞擊時(shí)產(chǎn)生的信號(hào)。

種類繁多

單離子注入聚焦離子束測(cè)試設(shè)備Q-One提供廣泛的植入元件。液態(tài)金屬離子源(LMIS)技術(shù)在單個(gè)源中產(chǎn)生不同元素的多個(gè)離子,包括團(tuán)簇和多電荷物種。

有幾種合金成分可供選擇,包括硅、鉺、釹、金和鉍。利用我們多年的專業(yè)知識(shí),我們確保每個(gè)源頭都以最佳方式流動(dòng),以實(shí)現(xiàn)最大的穩(wěn)定性。單獨(dú)的等離子體離子源也可用于氫、氮、氧和其他氣態(tài)元素。


應(yīng)用

量子技術(shù)

嵌入半導(dǎo)體矩陣中的單個(gè)雜質(zhì)原子作為量子比特(量子比特)顯示出巨大的前景。單離子注入能夠產(chǎn)生大量相同的量子比特陣列,是可重復(fù)制造這些和其他量子器件的關(guān)鍵途徑。

然而,公差是最小——每個(gè)原子必須非常精確地放置,有時(shí)距離其鄰居只有20納米。Q-One是針對(duì)此應(yīng)用而設(shè)計(jì)的工具,其規(guī)格針對(duì)這些要求。

應(yīng)用

摻雜納米材料

Q-One不僅限于注入單個(gè)離子。將任何所需的離子劑量植入任何位置,甚至可以使用專有軟件植入自定義區(qū)域或形狀。

摻雜納米材料,如納米線或具有不同元素的量子點(diǎn),可以改變其性質(zhì)。Q-One通過允許您靶向單個(gè)納米材料并使用各種摻雜劑探索不同的行為,開辟了一個(gè)充滿可能性的世界。

應(yīng)用

離子光刻

Q-One允許用戶執(zhí)行直接寫入光刻,就像普通FIB一樣,但種類范圍更廣,離子劑量控制更好。使用鉍等重元素進(jìn)行高效濺射,或使用氫等輕元素進(jìn)行基于光刻膠的離子光刻,甚至包括單離子事件。

如果沒有檢測(cè)每個(gè)注入事件的方法,就不可能精確地注入單個(gè)離子。系統(tǒng)提供速度和可擴(kuò)展性,不需要復(fù)雜的預(yù)制。因此,您可以不受阻礙地選擇植入物種類和目標(biāo)材料。




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