SENresearch 4.0 光譜橢偏儀
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) SENresearch 4.0
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/7/10 7:41:41
- 訪問次數(shù) 762
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子 |
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光譜橢偏儀
寬光譜范圍和高光譜精度
SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜范圍,從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達(dá)200μm的厚膜。
沒有光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)(步進(jìn)掃描分析器原理)
為了獲得測(cè)量結(jié)果,在數(shù)據(jù)采集過程中沒有光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)。步進(jìn)掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個(gè)特性。
雙補(bǔ)償器2C全穆勒矩陣測(cè)量
通過創(chuàng)新的雙補(bǔ)償器2C設(shè)計(jì)擴(kuò)展了步進(jìn)掃描分析器SSA原理,允許測(cè)量全穆勒矩陣。該設(shè)計(jì)是可現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)和實(shí)現(xiàn)成本效益的附件。
SpectraRay/4綜合橢偏儀軟件
SpectraRay/4 是用于先進(jìn)材料分析的全功能軟件包。SpectraRay/4 包括用于與引導(dǎo)圖形用戶界面進(jìn)行研究的交互模式和用于常規(guī)應(yīng)用的配方模式。
SENresearch 4.0 是SENTECH新的光譜橢偏儀。每一臺(tái)SENresearch 4.0光譜橢偏儀都是根據(jù)客戶具體配置的光譜范圍、選項(xiàng)和現(xiàn)場(chǎng)可升級(jí)附件而制造的。
SENresearch 4.0 使用快速的傅立葉紅外光譜儀FTIR測(cè)量至2500 nm或3500 nm的近紅外光譜。它提供了寬的光譜范圍,具有的信噪比,可選擇的光譜分辨率。可測(cè)量硅薄膜厚度高達(dá)200μm。傅立葉紅外光譜儀FTIR的測(cè)量速度與二極管陣列配置相比,也可選擇高達(dá)1700納米。
新的金字塔形狀的自動(dòng)角度計(jì)具有從20度到100度的角度范圍。光學(xué)編碼器確保精度和角度設(shè)置的長期穩(wěn)定性。光譜橢偏儀手臂可以獨(dú)立移動(dòng),用于散射測(cè)量和角度分辨透射測(cè)量。
SENresearch 4.0 根據(jù)步進(jìn)掃描分析器(SSA)原理進(jìn)行操作。SSA將強(qiáng)度測(cè)量與機(jī)械運(yùn)動(dòng)分離,從而允許分析更加粗糙的樣品。所有光學(xué)部件在數(shù)據(jù)采集期間都處于靜止?fàn)顟B(tài)。此外,SENresearch 4.0 包括用于自動(dòng)掃描和同步應(yīng)用的快速測(cè)量模式。
定制的SENresearch 4.0橢偏儀可以配置用于標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用。例如介電層堆疊、紋理表面、光學(xué)和結(jié)構(gòu)(3D)各向異性樣品。為各種各樣的應(yīng)用提供了預(yù)定義的配方。
![Spectral ranges for configuring the SENresearch 4.0](https://img64.chem17.com/33c3386a40defc47844cbd36796c2770d7f6da8ab3b16380fa9194567f9cdb7df2ee678f6fe7c36b.jpg)
![New computer controlled Pyramid Goniometer option](https://img64.chem17.com/33c3386a40defc47844cbd36796c277041ee9a27d1a09734072f4e8618c7951735e6e131ddce6fb0.jpg)
![Spectroscopic ellipsometer with field upgradable microspot accessory](https://img64.chem17.com/33c3386a40defc47844cbd36796c277020c7bb50ee8540e75b73553b5ff5994bb2e569e5c7da0169.jpg)
![Spectroscopic ellipsometer with field upgradable heating stage](https://img62.chem17.com/33c3386a40defc47844cbd36796c2770478a54ce36eed4088df9195e21c75d9c1db9a0092266992a.jpg)
![Spectroscopic ellipsometer with ~1 ml liquid cell](https://img62.chem17.com/33c3386a40defc47844cbd36796c277016554e4506c5792fd8357bdb28e297baf17a26c1498b352b.jpg)
![Reflection measurement at 20° using motorized Pyramid Goniometer](https://img62.chem17.com/33c3386a40defc47844cbd36796c27705f24315150e30c715ef2578b159a7fd5f9ace86f1bb2a842.jpg)
![Field upgradable sample stage with automated hight and tilt adjustment](https://img62.chem17.com/33c3386a40defc47844cbd36796c2770bc44ed2385b2f5f7da8d95ba87b2c8e5178bc6eccec28da5.jpg)
![Spectroscopic ellipsometer with setup for transmission measurement](https://img62.chem17.com/33c3386a40defc47844cbd36796c27705e1f05e6f2e68ae0cbba534730b2ad6672207c4e8385bb45.jpg)
![Spectroscopic ellipsometer with field upgradable x-y mapping stage](https://img62.chem17.com/33c3386a40defc47844cbd36796c27702d0638f795747bf4b2df42c3e10d9a56c2a1090cbb5a0cce.jpg)
![Spectroscopic ellipsometer with setup for transmission measurement11](https://img62.chem17.com/33c3386a40defc47844cbd36796c2770c4f2e5e1cae7059ba87239bb401a7b35db6f259af8cb8ab3.jpg)
![Spectroscopic ellipsometer with cryostat](https://img62.chem17.com/33c3386a40defc47844cbd36796c2770a44b4407b4e3cde7423a157a5437f17e7102d54d93cf7fba.jpg)
![Microspot measurement on Si-sphere](https://img62.chem17.com/33c3386a40defc47844cbd36796c2770372755afb21dbfc1751aa5b49ec66819cb63d76a81487c8d.jpg)
![Spectroscopic ellipsometer for process monitoring](https://img62.chem17.com/33c3386a40defc47844cbd36796c27702eb386e36d5bffdc6bba6520d29f673c3eb70c5d9e39a1e2.jpg)