VeriFire美國(guó)ZYGO激光干涉儀PX 4088
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位移加速度動(dòng)態(tài)激光干涉測(cè)量?jī)x
SJ6000位移加速度動(dòng)態(tài)激光干涉測(cè)量?jī)x可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度設(shè)備直線(xiàn)度激光干涉測(cè)量?jī)x
SJ6000設(shè)備直線(xiàn)度激光干涉測(cè)量?jī)x利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)