FTPadv 臺(tái)式薄膜探針反射儀

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公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
品牌 其他品牌
型號(hào) FTPadv
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時(shí)間 2024/7/10 7:56:39
訪問次數(shù) 572

產(chǎn)品標(biāo)簽

薄膜探針反射儀薄膜探針反射儀廠家反射儀

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北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)，專精的服務(wù)，提供理想的解決方案。

我們長期專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理，為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導(dǎo)向，用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進(jìn)行現(xiàn)場演示和技術(shù)交流，打消顧慮，彼此協(xié)作，為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備，其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備儀器。

客戶至上的服務(wù)理念，以人為本的企業(yè)文化，我們始終為用戶提供專業(yè)的服務(wù)！

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半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子

臺(tái)式薄膜探針反射儀

簡易的膜厚測量

通過選擇合適的配方，F(xiàn)TPadv反射儀以小于100ms的測量速度、精度小于0.3nm、厚度范圍為50nm-25μm的精度進(jìn)行厚度測量。

自動(dòng)建模

通過測量反射光譜和光譜數(shù)據(jù)庫的比較，將測量誤差減到很小。

光譜橢偏SE為基礎(chǔ)的材料數(shù)據(jù)庫

基于SENTECH精確的橢偏光譜測量的大型材料庫為測量新材料的光學(xué)常數(shù)提供了配方。

應(yīng)用

二十年來，SENTECH已經(jīng)成功地銷售了用于各種應(yīng)用的薄膜厚度探針FTPadv。這種臺(tái)式反射儀的特點(diǎn)是不管在低溫或高溫下，在工業(yè)或研發(fā)環(huán)境中，都能通過遠(yuǎn)程或直接控制，對(duì)小樣品或大樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)或在線厚度測量。

臺(tái)式反射儀FTPadv精確、可重復(fù)地測量反射和透明襯底上透明和弱吸收膜的厚度和折射率。FTPadv可以結(jié)合在顯微鏡上，或者配備有穩(wěn)定的光源，用于測量厚度達(dá)到25 µm (根據(jù)要求可更厚)的膜層。更具備了從SENTECH光譜橢偏儀經(jīng)驗(yàn)中受益的預(yù)定義的、經(jīng)由客戶驗(yàn)證的、以及隨時(shí)可以使用的應(yīng)用程序的廣泛數(shù)據(jù)庫。

FTPadv的特征在于對(duì)來自疊層樣品的任何膜層的厚度進(jìn)行測量，使得FTPadv成為膜厚測量的理想成本效益的解決方案。用于工藝控制的FTPadv包括具有采樣器的光纖束、具有鹵素?zé)舻姆€(wěn)定光源以及FTP光學(xué)控制站。局域網(wǎng)連接到PC允許了遠(yuǎn)程控制的FTPadv在工業(yè)應(yīng)用，如惡劣環(huán)境，特殊保護(hù)空間或大型機(jī)械。

反射儀FTPadv帶有大量預(yù)定義的配方，例如半導(dǎo)體上的介質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、硅上的聚合物、透明襯底上的膜、金屬襯底上的膜等等。自動(dòng)建模特性允許通過與光譜庫的快速比較來檢測樣本類型。該反射儀將操作誤差減到很小。用光學(xué)反射法測量膜厚從未如此容易。

SENTECH FTPadv菜單驅(qū)動(dòng)的操作軟件允許單層和疊層結(jié)構(gòu)的厚度測量，具有操作指導(dǎo)。此外，它還具有強(qiáng)大的分析工具和出色的報(bào)告輸出功能。附加的自動(dòng)掃描軟件可用于控制電動(dòng)樣品臺(tái)。將軟件升級(jí)到用于反射測量的高級(jí)分析的軟件包FTPadv EXPERT，即可應(yīng)用于具有未知或不恒定光學(xué)特性的材料。因此，單層薄膜厚度測量以及折射率和消光系數(shù)分析是可實(shí)現(xiàn)的。