RT Inline 薄膜反射和透射的在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
品牌 其他品牌
型號(hào) RT Inline
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時(shí)間 2024/7/10 8:09:28
訪問(wèn)次數(shù) 885

產(chǎn)品標(biāo)簽

薄膜測(cè)量軟件薄膜測(cè)量軟件廠家測(cè)量?jī)x

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北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)，專精的服務(wù)，提供理想的解決方案。

我們長(zhǎng)期專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理，為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導(dǎo)向，用科技來(lái)解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)演示和技術(shù)交流，打消顧慮，彼此協(xié)作，為我國(guó)的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長(zhǎng)期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備，其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備儀器。

客戶至上的服務(wù)理念，以人為本的企業(yè)文化，我們始終為用戶提供專業(yè)的服務(wù)！

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半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

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產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子

薄膜反射和透射的在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

高速薄膜測(cè)量

借鑒內(nèi)部參考技術(shù)，不需要在單獨(dú)的位置上進(jìn)行外部參考測(cè)量。這保證了連續(xù)多點(diǎn)薄膜測(cè)量的速度。

多探頭裝置

多達(dá)7個(gè)傳感器探頭由一個(gè)控制器驅(qū)動(dòng)，為均勻性監(jiān)測(cè)提供了具有成本效益的解決方案。

SENTECH先進(jìn)軟件

易于使用、基于配方的FTP軟件包括一個(gè)大型的預(yù)定義應(yīng)用數(shù)據(jù)庫(kù)，這些應(yīng)用符合研發(fā)以及生產(chǎn)環(huán)境中的質(zhì)量控制要求。

RT inline 薄膜測(cè)量系統(tǒng)是為沉積過(guò)程的在線質(zhì)量控制而設(shè)計(jì)的。該方法基于SENTECH著名的薄膜厚度探針FTPadv，用于測(cè)量反射率和薄膜厚度。它分別工作在420～1050 nm、2000～2500 nm的光譜范圍內(nèi)。可以分析光滑和紋理結(jié)構(gòu)的TCO薄膜、CdS薄膜、a-Si、µ-Si、CIGS和CdTe吸收膜。

通過(guò)RT inline，可以無(wú)損傷地監(jiān)測(cè)大型玻璃基板或塑料線圈上TCO、吸收層和緩沖層沉積的均勻性。薄膜厚度和反射率測(cè)量是通過(guò)固定安裝的傳感器探頭在玻璃基板上方從沉積設(shè)備傳送到下一個(gè)工藝期間進(jìn)行的。

一個(gè)控制器可以操作多達(dá)7個(gè)傳感器，使得RT inline測(cè)量?jī)x器具有成本效益、靈活性和生產(chǎn)性的結(jié)果。選配的超聲傳感器控制探頭和玻璃平臺(tái)之間的距離，以排除錯(cuò)誤的測(cè)量結(jié)果。

SENTECH配方驅(qū)動(dòng)的FTP軟件FTPadv Expert包括預(yù)定義的即用應(yīng)用程序綜合包。它提供了一個(gè)選配的軟件接口，用于將數(shù)據(jù)從測(cè)量?jī)x器傳輸?shù)街鳈C(jī)。因此，可以通過(guò)來(lái)自主機(jī)或傳送的信號(hào)手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行薄膜測(cè)量。

使用SENTECH SENresearch光譜橢偏儀開發(fā)的配方可以直接傳輸?shù)絉T inline中。基于這樣的光譜數(shù)據(jù)，甚至可以在線測(cè)量復(fù)雜的層疊膜。