BXC系列顯微鏡組件

一直以來(lái)，高品質(zhì)的顯微鏡組件都是用戶所值得信賴的“工作伙伴“，高效實(shí)用也一直都是Evident在顯微鏡組件開(kāi)發(fā)上的追求。作為BX顯微鏡系列的一部分，全新BXC顯微鏡組件正式與大家見(jiàn)面，其結(jié)構(gòu)緊湊，專(zhuān)為OEM集成和開(kāi)發(fā)而設(shè)計(jì)。

同時(shí)，全新BXC系列顯微鏡組件，將以其多功能性和模塊化構(gòu)建，成為檢測(cè)或成像應(yīng)用的理想選擇，無(wú)論是晶圓對(duì)準(zhǔn)、凸塊測(cè)量還是圖像拼接，都可自如應(yīng)對(duì)。

系統(tǒng)設(shè)計(jì)和自動(dòng)化高級(jí)選項(xiàng)，

效率再提升

多功能定向暗場(chǎng)

暗場(chǎng)用于觀察來(lái)自樣品的散射或衍射光（例如：鏡面或半導(dǎo)體晶圓上的劃痕或缺陷），而MIX滑塊無(wú)需專(zhuān)用的暗場(chǎng)光學(xué)組件，并通過(guò)16個(gè)可單獨(dú)控制的LED增強(qiáng)了傳統(tǒng)暗場(chǎng)，使您能夠控制照射在樣品上的光線方向。此外，這種通過(guò)使用MIX滑塊實(shí)現(xiàn)的定向暗場(chǎng)技術(shù)，可以與明場(chǎng)、簡(jiǎn)單偏光或熒光觀測(cè)相結(jié)合。

自動(dòng)對(duì)焦裝置

在BXC-FSU中，1級(jí)激光器使用主動(dòng)多點(diǎn)傳感來(lái)監(jiān)測(cè)焦點(diǎn)位置的方向和焦點(diǎn)狀態(tài)。這種傳感器針對(duì)低對(duì)比度的樣品（如裸晶圓）效果很好。算法可輸出穩(wěn)定的對(duì)焦信號(hào)，而不受物鏡放大倍率和周邊光線所造成噪音的影響。命令參考手冊(cè)、指導(dǎo)手冊(cè)和示例軟件，之后可在我們的網(wǎng)站上自行下載。

多種多樣的物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)

隨著自動(dòng)化需求的增加，對(duì)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)的需求也隨之增加。隨著自動(dòng)化需求的增加，對(duì)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)的需求也隨之增加?，F(xiàn)在，U-D5BDREMC-VA 1級(jí)無(wú)塵室兼容電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器，將使用抽真空方式來(lái)清除灰塵和其他顆粒。

系統(tǒng)集成化，

快速、簡(jiǎn)單

BXC-CBRML和BXC-CBB控制盒占地面積小，無(wú)風(fēng)扇，有多種安裝方式（例如可安裝到設(shè)備罩殼內(nèi)的側(cè)壁或頂部）

根據(jù)控制盒的不同，可將MIX滑塊、明暗場(chǎng)照明器、電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)和LED光源等功能集成在一起，并使用您的軟件進(jìn)行控制。