MSR-500Plus 磁控濺射鍍膜系統(tǒng)
- 公司名稱 深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) MSR-500Plus
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/8/7 16:23:51
- 訪問(wèn)次數(shù) 527
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臺(tái)階儀，光學(xué)輪廓儀，電化學(xué)工作站，納米壓痕儀，力電聯(lián)測(cè)材料試驗(yàn)機(jī)，介電溫譜測(cè)量系統(tǒng)，電阻測(cè)試儀，原子力顯微鏡，光學(xué)顯微鏡
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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磁控濺射鍍膜系統(tǒng)
MSR-500Plus
可用于制備金屬膜、半導(dǎo)體膜、陶瓷膜、介質(zhì)膜。在金屬或非金屬表面通過(guò)直流濺射Au、Ag、Cr、Al、Ti、Mg等金屬，射頻濺射TiO2、ZnO、Al2O3等介質(zhì)薄膜，既可進(jìn)行單質(zhì)金屬濺射也可進(jìn)行反應(yīng)濺射和共濺射。
系統(tǒng)設(shè)計(jì)
MSR-500Plus大型磁控濺射鍍膜系統(tǒng)由濺射室、磁控濺射靶、DC電源、RF電源、脈沖偏壓電源、基片載臺(tái)、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、PLC控制系統(tǒng)等組成，機(jī)柜一體式設(shè)計(jì)，可集成手套箱。此外，我們也提供小型桌面式系統(tǒng)，經(jīng)濟(jì)適用，節(jié)省用戶空間。
技術(shù)參數(shù)
濺射室 | 立式前開門設(shè)計(jì)，帶觀察窗。尺寸可定制，SUS304不銹鋼。 |
真空系統(tǒng) | v 分子泵+旋片泵+高真空閥+數(shù)顯復(fù)合真空計(jì) v 極限真空：5×10-5Pa（真空系統(tǒng)選配，本參數(shù)只做參考） v 系統(tǒng)漏率：5×10-9Pa.m3/s v 真空恢復(fù)：常壓至5×10-4 Pa，小于30分鐘 |
基片載臺(tái) | 轉(zhuǎn)速0-50rpm，負(fù)偏壓設(shè)計(jì) |
樣品加載 | 手動(dòng)或Loadlock加載 |
溫度 | 500℃±1℃，PID控溫，加熱帶屏蔽 |
濺射源 | v 靶材尺寸：4’’/6’’/8’’，角度可調(diào)，配氣動(dòng)擋板 v 濺射方向：向上或向下濺射 v DC：1000W，RF：300/500/600W v 靶距調(diào)整：80~120mm |
工作氣路 | 2-4路MFC，可混氣，可充入Ar、O2、N2等，氣體流量100/50/20 SCCM。 |
鍍膜均勻性 | ±5% |
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