M+100CD-S 半自動(dòng)勻膠顯影機(jī)

自動(dòng)滴膠、甩膠、勻膠

供膠系統(tǒng)

排風(fēng)系統(tǒng)

可配EBR&BSR功能

適用用圓片尺寸: 2”、3”、4”；以及5x5,10x10,25x25方片

工藝工步：放置圓片（可輔助定中心）    啟動(dòng)    防濺罩到上位    真空吸片   防塵帽閉合   電機(jī)啟動(dòng)    吹氮?dú)?   低速滴膠    加速、高速勻膠     上刮邊    下刮邊

電機(jī)停止    防塵帽開啟    防濺帽到下位    去真空、卸片（工藝結(jié)束）以上各工步流程為自動(dòng)執(zhí)行，其中防塵帽、防濺帽、真空具有手動(dòng)功能；

主軸徑向跳動(dòng)≤0.02mm，軸向竄動(dòng)≤0.04mm；

主軸轉(zhuǎn)速：200～7000轉(zhuǎn)/分，誤差±20轉(zhuǎn)/分,連續(xù)可調(diào)；

主軸加速度（空載）：0～3×103rad/秒2，連續(xù)可調(diào)； 

工藝工步時(shí)間：0～999.9秒，設(shè)定增量±0.1秒；

滴膠量和速度可調(diào)；