AIM-M 大平臺(tái)晶圓線路板檢查測(cè)量顯微鏡

大平臺(tái)晶圓線路板檢查測(cè)量顯微鏡測(cè)量與讀數(shù)

1.調(diào)節(jié)目鏡進(jìn)行視場(chǎng)調(diào)整，使顯微鏡十字線最清晰即可；轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)焦手輪，從目鏡中觀測(cè)，使被測(cè)工件成像清晰；可調(diào)整被測(cè)工件，使被測(cè)工件的一個(gè)橫截面和顯微鏡移動(dòng)方向平行。

2.轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)輪可以調(diào)節(jié)十字豎線對(duì)準(zhǔn)被測(cè)工件的起點(diǎn)，在標(biāo)尺上讀取毫米的整數(shù)部分，在旋轉(zhuǎn)輪上讀取毫米以下的小數(shù)部分。兩次讀數(shù)之和是此點(diǎn)的讀數(shù)A。

3.沿著同方向轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)輪，使十字豎線恰好停止于被測(cè)工件的終點(diǎn)讀數(shù)A′，記下此時(shí)所測(cè)量工件的長(zhǎng)度。

大平臺(tái)晶圓線路板檢查測(cè)量顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)

1.主體規(guī)格

◆X坐標(biāo)行程:    310（mm）

◆Y坐標(biāo)行程：  310（mm）

◆Z坐標(biāo)行程:    50（mm）
◆操控方式：XY手動(dòng)同軸低手位粗微調(diào)可切換（帶快速移動(dòng)）

Z軸手脈電動(dòng)操控（快上-快下-中檔-慢檔切換）
◆反射照明光源：

明暗場(chǎng)反射照明器，帶明暗場(chǎng)照明切換裝置；

可變視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽。

可根據(jù)客戶產(chǎn)品不同而選擇DIC微分干涉功能。

2.目視系統(tǒng)
◆物鏡放大倍數(shù)：五孔旋轉(zhuǎn)器，標(biāo)配5X、10X、20X、50X明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡（可選配100X）

標(biāo)配手動(dòng)鼻輪（可選配電動(dòng)鼻輪）

◆目鏡放大倍數(shù)：10X( 單、雙目同，PL10X25mm)
◆總放大倍數(shù)：  50X-500X（包括畸變?cè)趦?nèi)的）


3.影像系統(tǒng)
◆攝像機(jī)接口：C型接口，可調(diào)焦

◆CCD：630萬(wàn)高清數(shù)字相機(jī)（自帶軟件可顯示影像視窗及二維尺寸量測(cè)）
◆綜合影像最大放大倍數(shù)：1000X以上

使用注意事項(xiàng):

1.在松開每個(gè)鎖緊螺絲時(shí)，必須用手托住相應(yīng)部分，以免其墜落和受沖擊。

2.注意防止回程誤差，由于螺絲和螺母不可能密合，螺旋轉(zhuǎn)動(dòng)方向改變時(shí)，它的接觸狀態(tài)也改變，兩次讀數(shù)將不同，由此產(chǎn)生的誤差叫回程誤差。為防止此誤差，測(cè)量時(shí)應(yīng)向同一方向轉(zhuǎn)動(dòng)，使十字線和目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)，若移動(dòng)十字線超過(guò)了目標(biāo)，就要多退回一些，重新再向同一方向轉(zhuǎn)動(dòng)。