DX-7系列晶棒及晶片角度測(cè)量儀

型 號(hào)

DX-7B

DX-7BG

主要特點(diǎn)

設(shè)備構(gòu)造：設(shè)備分為落地式一體機(jī)。

外型尺寸： 1132 （長）× 642 （寬）× 1200（高） mm。

樣式 1

樣式 2

樣式 3

功能

可測(cè)量晶棒的端面和柱面， 也可以測(cè) 量晶片。

帶有六方型刻度貼片板， 可測(cè)量晶片端面

可測(cè)量晶片參考邊

被測(cè)晶 體尺寸

2-6 寸晶棒、 長度 L≤320mm，

2-6 寸晶片。

2-6 寸晶棒、長度 L≤100mm，

2-6 寸晶片。

2-6 寸晶片。

工作臺(tái) 圖片

配套

夾具

①V 型夾具（測(cè)量晶棒端面時(shí)使用）

②底板（測(cè)量有參考面的晶棒端面時(shí) 使用）

無需夾具

無需夾具

工作臺(tái)：以上是常見工作臺(tái)，可根據(jù)客戶需要， 任選以上 2 種樣品臺(tái)進(jìn)行組合，也可以雙側(cè)一樣，還可

以根據(jù)被測(cè)的晶體尺寸，及晶體被測(cè)方位來特殊設(shè)計(jì)。

設(shè)備精度

設(shè)備綜合精度為±30″

（以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片 10ī1 面測(cè)量）

設(shè)備綜合精度為±15″

（以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片 10ī1 面測(cè)量）

最小讀數(shù)

10″

儀器配置

DX-7B 和 DX-7BG 型 X 射線單晶定向儀由機(jī)臺(tái)、 管套及各種機(jī)械附件組成的機(jī)械部分； 由穩(wěn)壓器、控制器、 高壓變壓器、放大器、計(jì)數(shù)器、風(fēng)冷電機(jī)、 X 射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構(gòu)成。

技術(shù)指標(biāo)

（1） X 射線發(fā)生器部分：

X 射線管：銅靶，風(fēng)扇冷卻，陽極接地。

管電壓： 30KVP，全壓合閘。

管電流： 0—5mA 連續(xù)可調(diào)， 使用 2.0mA 以上， 有可能損壞 X 光管并加大輻射危害。

（2）輸入電源： 單相交流 220V，50Hz，整機(jī)總耗電功率不大于 0.3 KW 。

（3）角度測(cè)量范圍：

2 θ角：－ 10～+110° θ角:-5～+55°。

衍射方式

單衍射

雙衍射

放大系統(tǒng)

傳統(tǒng)放大器

新型放大器

接收系統(tǒng)

計(jì)數(shù)管計(jì)數(shù)率為 104/秒

計(jì)數(shù)管計(jì)數(shù)率為 108/秒

（是普通系列的 1 萬倍）

接收器壽命

1 年

3 年以上

X 光管壽命

按照國家標(biāo)準(zhǔn) 400 小時(shí)

（X 光管可以使用 3-4 個(gè)月）

是正常使用狀況下的 2-3 倍

（X 光管至少可以使用一年）

X 管電流強(qiáng)度

1-1.5mA

0.5-1.0mA

測(cè)量和使用效果

X 光管使用 2-3 個(gè)月有可能出現(xiàn)多個(gè)假峰，影響 準(zhǔn)確度。 需要經(jīng)常更換 X 光管，影響生產(chǎn)效率。

可以濾掉 X 光管的雜峰，不存在假峰現(xiàn)象。 X 光管可 以使用 1 年左右，不需要頻繁調(diào)整機(jī)器。

精度

精度±30 秒（或±0.008 度）

精度±15 秒（或±0.004 度）

輻射

測(cè)量時(shí)使用 mA 量越來越大，射線輻射量較大。

測(cè)量時(shí)使用 mA 量小，射線輻射量較小。