DX-5LS-XY系列 晶棒粘結(jié)定向儀

型 號

DX-5LS-XY

DX-5LS-XYG

主要特點

1、設(shè)備分為落地式一體機(jī)。

2、儀器為雙側(cè)工作臺，一側(cè)用于調(diào)整晶棒 Y 軸方向角度，另一側(cè)工作臺 X 光下直接對晶棒 X 軸進(jìn)行調(diào)整粘接。

設(shè)備配置

X 射線單晶定向儀由機(jī)臺、管套及各種機(jī)械附件組成的機(jī)械部分；由穩(wěn)壓 器、控制器、高壓變壓器、放大器、計數(shù)器、風(fēng)冷電機(jī)、 X 射線管及各種 指示儀表組成的電氣部分構(gòu)成。

電源

單相交流 220V，50Hz，整機(jī)總耗電功率不大于 0.3 KW

角度測量范圍

2 θ角：－ 10～+110° θ角:-5～+55°。

設(shè)備精度

設(shè)備綜合精度為±30″（以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片 10ī1 面測量）

X 射線發(fā)生器

X 射線管：銅靶，風(fēng)扇冷卻，陽極接地。

管電壓： 30KVP，全壓合閘。

管電流： 0—5mA 連續(xù)可調(diào)， 使用 2.0mA 以上， 有可能損壞 X 光管并加大輻 射危害。

最小讀數(shù)

10″

衍射方式

單衍射

雙衍射

放大系統(tǒng)

傳統(tǒng)放大器

新型放大器

接收系統(tǒng)

計數(shù)管計數(shù)率為 104/秒

計數(shù)管計數(shù)率為 108/秒， （是普通系列的 1 萬倍）

接收器壽命

1 年

3 年以上

X 光管壽命

按照國家標(biāo)準(zhǔn) 400 小時   （X 光管可以使用 3-4 個月）

是正常使用狀況下的 2-3 倍    （X光管至少可以使用一年）

X 管電流強(qiáng)度

1-1.5mA

0.5-1.0mA

測量和使用

效果

X 光管使用 2-3 個月有可能出現(xiàn)多個假

峰，影響準(zhǔn)確度。需要經(jīng)常更換 X 光管， 影響生產(chǎn)效率。

可以濾掉 X 光管的雜峰，不存在

假峰現(xiàn)象。X 光管可以使用 1 年左 右，不需要頻繁調(diào)整機(jī)器。

精度

精度±30 秒（或±0.008 度）

精度±15 秒（或±0.004 度）

輻射

測量時使用 mA 量越來越大，

射線輻射量較大。

測量時使用 mA 量小，

射線輻射量較小。

產(chǎn)品規(guī)格

外型尺寸： 1190 （長）× 640 （寬）× 1161（高） mm

注意事項

該設(shè)備使用時， 需要一臺平面磨床配合進(jìn)行修磨樹脂條（或者玻璃條）