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薄膜厚度橢偏儀

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京伊微視科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時間 2024/3/15 13:28:31
  • 訪問次數(shù) 165
產(chǎn)品標簽

橢偏儀薄膜厚度Film sense

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!


北京伊微視科技有限公司是一家專注于提供顯微、膜厚測量以及光電測試設(shè)備的企業(yè)。

我們致力于為客戶提供全面的顯微設(shè)備，涵蓋從毫米到納米級別的多個領(lǐng)域。我們的產(chǎn)品線包括樣品制備設(shè)備、體式顯微鏡、數(shù)碼顯微鏡、金相顯微鏡、平面度測試儀、3D表面輪廓儀、掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡以及透明晶圓缺陷掃描儀。

此外，我們還提供專業(yè)的薄膜測量設(shè)備，包括透明/半透明薄膜的反射光譜測量儀、用于納米級別測量的橢偏儀，以及針對不透光金屬鍍膜的X熒光光譜測量儀。

在光電測量設(shè)備領(lǐng)域，我們正在不斷拓展我們的產(chǎn)品線，已代理的產(chǎn)品包括Sinton的少子壽命測試和Fluxim測量軟件。

尺有所短寸有所長，每一個品牌，每一臺設(shè)備亦如此。在客戶的需求上，提供解決方案，是我們服務(wù)的宗旨。我們不僅僅是設(shè)備的銷售商，更是為客戶提供解決方案的合作伙伴。



金相顯微鏡，平面度測試儀，3D表面輪廓儀，掃描電子顯微鏡，原子力顯微鏡以及透明晶圓缺陷掃描儀。

測量重復(fù)性 2nm 產(chǎn)地類別 進口
單次測量時間 1s 光斑尺寸 0.8x19 毫米(可提供其他光斑尺寸)mm
價格區(qū)間 面議 膜厚測量準確度 0- 5umnm
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合 直射測量準確度 波長280-950nm°


Film Sense 多波長橢偏儀通過簡單的 1 秒測量，可以以的精度和精度測定大多數(shù)透明薄膜的薄膜厚度和折射率并對許多樣品進行光學常數(shù) n&k 等薄膜性質(zhì)的測量。多波長薄膜厚度橢偏儀提供了強大的薄膜測量功能售價只是單一波長橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。Film Sense 偏儀非常適合在研究實驗室教室，現(xiàn)場處理室，工業(yè)質(zhì)量控制等等。

主要特點:

5.png


1、多個LED 光源(4或6，波長280-950nm，視系統(tǒng)而定)。

2、一體化設(shè)計，橢偏儀探測器中無可移動部件。

3、具有良好的厚度精度，對多個樣品的厚度優(yōu)于 0.001 nm(1 秒鐘，甚至對于亞單層膜的厚度也優(yōu)于0.001 nm。

4、可通過現(xiàn)代計算機，筆記本電腦或平板電腦 Web 瀏覽器界面直接訪訪問軟件頁面，用于儀器控制和數(shù)據(jù)分析。

產(chǎn)品優(yōu)勢



1、壽命長(>50,000小時)，沒有耗時的對準或PM程序

2、快速測量時間(10ms內(nèi)的多波長數(shù)據(jù))和長期可靠性

3、只有橢偏儀才有的測量精度

4、沒有復(fù)雜的軟件設(shè)置和維護

案例：

Film Sense 多波長偏儀在測量透明單層薄膜的厚度和折射率方面表現(xiàn)出色。上限厚度取決于薄膜厚度橢偏儀系統(tǒng)(通常為 2-5 微米)， 但也取決于基底和薄膜的光學常數(shù)。與任何偏儀系統(tǒng)一樣， 為了獲得準確的折射率測量結(jié)果，需要有最小薄膜厚度(通常為 10 納米)。

光吸收薄膜也可以被測量，但數(shù)據(jù)分析變得更加復(fù)雜，因為需要薄膜的光學常數(shù)(折射率 n 和消光系數(shù)K值)。Film Sense 軟件包含了多種確定n 和值的方法:1)多樣品分析，2)聯(lián)合偏儀+透測量，和3)色散模型。對于吸收薄膜，上限厚度強烈依賴于材料的類型 ， 對于金屬薄膜，上限通常為50納米。

多波長偏儀還可以用于測量多層膜堆疊 (在某些情況下可達 5層)，這取決于各層的厚度和折射率。可以在 Film Sense 軟件中進行模擬，以確定特定樣品結(jié)構(gòu)是否可行。對于某些樣品，還可以表征薄膜中的表面粗糙度和折射率梯度。

特點和規(guī)格

6.jpg


精確測量厚度范圍為0- 5um 的大多數(shù)透明薄膜

典型的厚度重復(fù)性: 0.015 nm

集成聚焦探頭，標準光斑尺寸: 0.8x19 毫米(可提供其他光斑尺寸)

電動Z型載物臺用于樣品自動對準

靈活的掃描模式編輯器

測量參數(shù)的等高線圖和3D圖。

具有6個波長的橢圓測量數(shù)據(jù) (405、450、525、660、850、950納米)采用長壽命 LED 光源，無移動部件的探測器






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