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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設(shè)備>制樣/消解設(shè)備>離子濺射儀> VTC-600GD高真空磁控濺射儀

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VTC-600GD高真空磁控濺射儀

具體成交價以合同協(xié)議為準

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　　沈陽科晶立足國內(nèi)市場實際情況，以提供Z為實用的產(chǎn)品為己任。產(chǎn)品的質(zhì)量、精度在向國外企業(yè)看齊的基礎(chǔ)上，產(chǎn)品的價格定位卻僅僅是其幾分之一。性價比不僅吸引了眾多國內(nèi)客戶，而且令挑剔的外國客商也稱贊不已，產(chǎn)品遠銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家，并大量出口于美國。

　　沈陽科晶為了更好地服務(wù)客戶，專門設(shè)立了開放式專業(yè)實驗室，配備了優(yōu)秀的專業(yè)技術(shù)人員。在這里，不僅可以提供親身的產(chǎn)品體驗環(huán)境，而且還可得到專業(yè)人員的操作指導。開設(shè)以來，制作的樣品達上千件，接待來訪客參觀戶百余次，其中包括多次外國友人的來訪。在此，沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來，并希望您能提出寶貴的意見與建議。

　　沈陽科晶一路走過的歷程，是為我國材料研究事業(yè)全力貢獻的歷程，是以實際行動將自己打造成國內(nèi)材料分析設(shè)備品牌的歷程，是與國外同行不斷縮小差距的歷程，是與廣大客戶相扶相持的成長歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘，但堅持不懈的沈陽科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅持，相信在不久的將來，沈陽科晶也將會成為市場上專業(yè)的、杰出的材料分析設(shè)備品牌，沈陽科晶的明天會更加燦爛輝煌。

 

★我們擁有同類型中優(yōu)質(zhì)性價比的產(chǎn)品！　　　　　　　　　　　　　　　　　

　　    您正在為材料與設(shè)備無從下手而焦急嗎？

★歡迎來到沈陽科晶，我們是國內(nèi)實驗室樣品制備設(shè)備領(lǐng)域的專家！

 

 

 

 

 

 

 

 

切割機，金剛石線切割機，研磨拋光機，提拉涂膜機，旋轉(zhuǎn)涂膜機，真空鍍膜機，管式爐，箱式爐，電池實驗研究設(shè)備，清洗機

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
應用領(lǐng)域 綜合

IMG_256

VTC-600GD 高真空磁控濺射儀是新自主研制開發(fā)的鍍膜設(shè)備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600GD高真空磁控濺射儀最多可選配四個靶槍，配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜，配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比，其不僅應用廣泛，且具有體積小便于操作的優(yōu)點，是一款實驗室制備材料薄膜的理想設(shè)備，特別適用于實驗室研究固態(tài)電解質(zhì)及OLED等。IMG_257

 

·最多可選配四個靶槍，配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜，配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜（靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換）。

·可制備多種薄膜，應用廣泛。

·體積小，操作簡便。

·整機模塊化設(shè)計，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計，可根據(jù)用戶實際需要調(diào)整。

·可根據(jù)用戶實際需要選擇電源，可以一個電源控制多個靶槍，也可多個電源單一控制靶槍。IMG_258

產(chǎn)品名稱

VTC-600GD高真空磁控濺射儀

產(chǎn)品型號

VTC-600GD

安裝條件

本設(shè)備要求在溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）及減壓閥
4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通風裝置：需要

主要參數(shù)

1、電源電壓：220V  50Hz
2、總功率：＜3.5KW
3、腔體內(nèi)徑：Ø300mm
4、極限真空度：< E-6mbar（配合本公司設(shè)備使用可達到?E-5mbar）
5、工作溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實際需要提升溫度）
6、靶槍數(shù)量：4個
7、靶槍冷卻方式：水冷
8、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）
9、直流濺射功率：500W（可選）
10、射頻濺射功率：300W
11、載樣臺：Ø140mm
12、載樣臺轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)
13、保護氣體：Ar、N2等惰性氣體
14、進氣氣路：質(zhì)量流量計控制2路進氣，1個流量為100 SCCM，1個流量為200 SCCM

15、產(chǎn)品規(guī)格：
·尺寸：
主機尺寸：850mm×760mm×660mm，
整機尺寸：1300mm×660mm×1200mm；
·重量：190kg

IMG_259


IMG_261

序號

名稱

數(shù)量

圖片鏈接

1

直流電源控制系統(tǒng)

（可選）套

-

2

射頻電源控制系統(tǒng)

1套

-

3

膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)

1套

-

4

分子泵（德國進口或者國產(chǎn)更大抽速）

1臺

-

5

冷水機

1臺

-

6

聚酯PU管（Ø6mm）

4m

-


IMG_263

序號

名稱

功能類別

圖片鏈接

1

金、銦、銀、鉑等各種靶材

（可選）

-

2

可選配強磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。

（可選）

-

 

 

 

 

 

 

 

 



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