MC100 反應(yīng)釜的氣體質(zhì)量流量控制器

易度智能MC100系列，是一款適用于反應(yīng)釜的氣體質(zhì)量流量控制器，其單機(jī)可用多種氣體，較快的響應(yīng)時(shí)間，并且可以設(shè)定后自主運(yùn)行的性能，非常適用于高校反應(yīng)釜的流量控制。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：提供上位機(jī)軟件設(shè)定流量。

l 核心優(yōu)勢(shì)：單機(jī)可用多種氣體，較快的響應(yīng)時(shí)間，并且可以設(shè)定后自主運(yùn)行的性能

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以?xún)?nèi)

l 實(shí)時(shí)顯示4種過(guò)程變量

l 內(nèi)置60多種氣體，自由切換氣體，無(wú)需查找、輸入系數(shù)，并可自主編輯混合氣體

l 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間，開(kāi)機(jī)即可使用，即插即用。

l 可切換為流量計(jì)模式使用

產(chǎn)品規(guī)格：

l 產(chǎn)品型號(hào)：MC100

l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

l 閥門(mén)種類(lèi)：N/C（常閉型）

性能參數(shù)：

l 精度：±1.0%S.P.(設(shè)定值)(20%～100%量程范圍)   ±0.2%F.S.(滿(mǎn)量程)(1%～10%量程范圍)

l 重復(fù)精度：±0.2%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準(zhǔn)100kPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度25℃）

l 零點(diǎn)漂移：±0.2%F.S./年

l 工作范圍：1%~100%F.S.

l 響應(yīng)時(shí)間：≤700ms.

l 啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間：1s

使用條件：

l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無(wú)冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 工作壓差范圍：100kPa~800kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜500mA （＜12V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質(zhì)：SUS316L

l 進(jìn)出口：管螺紋（內(nèi)螺紋）

l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數(shù)字信號(hào)：RS485，Profibus

l 模擬信號(hào)：4-20mA，0-5V

應(yīng)用場(chǎng)景

l 反應(yīng)釜?dú)饴妨髁靠刂?/span>

l 高校實(shí)驗(yàn)室反應(yīng)釜

l 需設(shè)置后自動(dòng)運(yùn)行控制的場(chǎng)景

MC100反應(yīng)釜的氣體質(zhì)量流量控制器在于內(nèi)置多種氣體，快速響應(yīng)，并且有軟件可以根據(jù)用戶(hù)需求自主設(shè)定控制策略，根據(jù)時(shí)間、流量自動(dòng)運(yùn)行，對(duì)于需要夜間工作的用戶(hù)來(lái)講，可以省去用戶(hù)需要頻繁手動(dòng)切換的問(wèn)題，減少工作量。