NeoceraPioneer系列 PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)

        產(chǎn)品型號(hào)：Pioneer240、Pioneer180、Pioneer120 

        Pioneer系列 PLD系統(tǒng)---基于經(jīng)驗(yàn)的創(chuàng)新設(shè)計(jì)

        Neocera利用PLD開展了深入廣泛的研究，建立了獲得薄膜質(zhì)量的臨界參數(shù)，特別適用于沉積復(fù)雜氧化物薄膜。這些思考已經(jīng)應(yīng)用于Pioneer系統(tǒng)的設(shè)計(jì)之中。

        很多復(fù)雜氧化物薄膜在相對(duì)高的氧壓（>100Torr）下冷卻可獲得更高的質(zhì)量。所有Pioneer系統(tǒng)都具備此功能（壓力范圍可從額定初始?jí)簭?qiáng)到大氣壓）。這也有益于納米粒子的生成。

        Pioneer PLD系統(tǒng)的激光束入射角為45°，保持了激光密度在靶材上的均勻性，同時(shí)避免使用復(fù)雜而昂貴的光學(xué)部件。更大的入射角能夠拉長靶材上的激光斑點(diǎn)，導(dǎo)致密度均勻性的損失。

        為了避免使用昂貴的與氧氣兼容的真空泵，消除油的回流對(duì)薄膜質(zhì)量的影響，所有Pioneer系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置都采用無油泵系統(tǒng)。

        我們的研究表明靶和基片的距離是獲得薄膜質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù)。Pioneer系統(tǒng)可以控制靶材和基片的距離，以達(dá)到的沉積條件。