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AT 200M 迷你原子層沉積系統(tǒng)-可放入手套箱

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京盈思拓科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 AT 200M
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/11/18 15:45:23
  • 訪問次數(shù) 433

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北京盈思拓科技(Instonetech) 有限公司是材料研究領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)提供商。 Instone是Institute、Instrument、Instant的縮寫，代表公司秉承專業(yè)、高效的經(jīng)營理念，為科研用戶提供技術(shù)服務(wù)。

公司深耕國內(nèi)科研市場近十年，以中科院等專業(yè)院所背景的技術(shù)力量為依托， 為國內(nèi)各大科研機(jī)構(gòu)及材料研究客戶提供科研儀器設(shè)備和專業(yè)技術(shù)服務(wù)。公司以代理國內(nèi)外材料化工方向的儀器設(shè)備為核心業(yè)務(wù)，產(chǎn)品覆蓋材料制備、表征、光、熱、 電、磁等研究領(lǐng)域。

公司在提供專業(yè)儀器設(shè)備的基礎(chǔ)上，根據(jù)客戶的不同需求，提供“從0到1”的咨詢和建設(shè)服務(wù)(實驗室設(shè)備及家具布局、通風(fēng)、潔凈及氣路等),為新能源電池、電子陶 瓷、半導(dǎo)體材料、高分子材料等用戶提供一站式解決方案。

此外，公司旗下?lián)碛杏蜒芯芗庸て脚_，并擁有專業(yè)的技術(shù)工程師為實驗設(shè)備提供 系統(tǒng)集成服務(wù)，提升科研實驗的自動化水平，為用戶提供增值服務(wù)。


技術(shù)服務(wù)、一般項目:技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流

價格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,綜合

 

  • 原子層沉積系統(tǒng)ALD

  • 市場上占地面積最小的 ALD（原子層沉積）工具。AT200M 體積小巧，可以放入手套箱中，因此是濕氣或空氣敏感沉積的解決方案。

  • 占地面積?。▇ 15 in3 或 38.1 cm3）

  • 半導(dǎo)體級元件

  • 金屬密封管路

  • 通風(fēng)前驅(qū)體外殼

  • 兼容高溫的快速脈沖 ALD 閥，帶有超快速 MFC，用于集成惰性氣體吹掃

  • 前驅(qū)體（最高 150°C），歧管，腔室加熱以確保無冷凝。

  • 強(qiáng)大的 PLC 驅(qū)動用戶界面

  • 不銹鋼腔室可加熱至 300°C。

 

規(guī)格：

  • 腔室溫度從 RT 到 300°C ± 1 °C

  • 前驅(qū)體溫度從 RT 到 150°C ± 2°C（帶加熱夾套）

  • 市場上占地面積最?。?.6 平方英尺），臺式安裝，兼容潔凈室，也適合手套箱。

  • 系統(tǒng)維護(hù)簡單，公用設(shè)施和前驅(qū)體使用量低。

  • 腔室容積小

  • 非?？焖俚难h(huán)能力。

  • 完整的硬件和軟件互鎖，即使在多用戶環(huán)境中也能安全操作

 

 



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