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感應(yīng)耦合電漿蝕刻

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北京瑞科中儀科技有限公司一家是專門從事數(shù)碼光學顯微鏡及相關(guān)實驗室設(shè)備研發(fā)與銷售的新型高科技公司,也專注于半導體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理,為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的材料分析解決方案,北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機、等離子清洗機、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學顯微鏡以及實驗室設(shè)備儀器,以專業(yè)能力導向,精細工藝流程,用科學手段解決科研中遇到的難題.彼此協(xié)作,為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

公司主要產(chǎn)品包括:生物顯微鏡、金相顯微鏡、偏光顯微鏡、體視顯微鏡、數(shù)碼顯微鏡、顯微鏡數(shù)碼相機照相接口、顯微鏡*冷光源、數(shù)碼圖像分析系統(tǒng)、測量顯微鏡、三座標測量顯微鏡,激光細胞顯微操作 拉曼顯微鏡光學儀器及設(shè)備/光學顯微鏡/熒光顯微鏡光學儀器及設(shè)備/電子顯微鏡/其它電子顯微鏡半導體行業(yè)專用儀器/其它半導體行業(yè)儀器設(shè)備其它半導體設(shè)備生命科學儀器/分子生物學儀器/PCR儀生命科學儀器/分子生物學儀器/基因測序儀生命科學儀器/分子生物學儀器/DNA合成儀半導體行業(yè)專用儀器/薄膜生長設(shè)備/其它薄膜沉積設(shè)備半導體行業(yè)專用儀器/光刻及涂膠顯影設(shè)備/無掩模光刻機/直寫光刻機

公司經(jīng)銷代理品牌包括:蔡司顯微鏡,奧林巴斯顯微鏡,尼康顯微鏡,徠卡顯微鏡,國產(chǎn)各廠家顯微鏡, 華粵行 ,基恩士 , 日本電,日立 ,布魯克,三和聯(lián), sentech(森泰克),SYSKEY(矽碁), PE(鉑金埃爾默)全系產(chǎn)品 ,天美愛丁堡,原子光譜,氣相色譜,PE(鉑金埃爾默)全系產(chǎn)品

代理經(jīng)銷的產(chǎn)品種類包括,熒光顯微鏡,熒光顯微成像系統(tǒng),激光捕獲顯微切割,全自動切片掃描,三維超景深顯微系統(tǒng),動物超聲系統(tǒng),3D超景深顯微鏡,形貌探測顯微鏡,蔡司共聚焦顯微鏡,全自動數(shù)字切片掃描,病理切片掃描,激光切割顯微系統(tǒng),立體顯微鏡,國產(chǎn)激光共聚焦顯微鏡,精準醫(yī)學顯微切割,激光顯微切割系統(tǒng),按需搭建顯微系統(tǒng),熒光光譜儀,激光細胞顯微操作 拉曼顯微鏡光學儀器及設(shè)備/光學顯微鏡/熒光顯微鏡光學儀器及設(shè)備/電子顯微鏡/其它電子顯微鏡半導體行業(yè)專用儀器/其它半導體行業(yè)儀器設(shè)備其它半導體設(shè)備生命科學儀器/分子生物學儀器/PCR儀生命科學儀器/分子生物學儀器/基因測序儀生命科學儀器/分子生物學儀器/DNA合成儀半導體行業(yè)專用儀器/薄膜生長設(shè)備/其它薄膜沉積設(shè)備半導體行業(yè)專用儀器/光刻及涂膠顯影設(shè)備/無掩模光刻機/直寫光刻機


公司成立伊始,即本著“以人為本,誠信發(fā)展,合作共贏"的企業(yè)宗旨,快樂中結(jié)識新朋友,穩(wěn)步中追求新發(fā)展。目前公司已經(jīng)擁有一支由專業(yè)技術(shù)人員、營銷人員和維修人員組成的強大隊伍,竭誠為廣大客戶提供包括技術(shù)咨詢、產(chǎn)品配套、安裝調(diào)試、應(yīng)用指導、維護保養(yǎng)在內(nèi)的整套細致入微的服務(wù)。同時公司還依托中國地質(zhì)研究院、清華大學、中國農(nóng)業(yè)大學、中科院等科研院所的強大技術(shù)實力,特聘多名教授、博士作為我公司提供多方面的技術(shù)支持。

公司儲備各顯微鏡現(xiàn)貨,只要您有需求,我們就能隨時為您提供各種產(chǎn)品選配服務(wù)。公司管理層、營銷隊伍和技術(shù)人員都具備多年的專業(yè)技術(shù)經(jīng)驗,相信我們的質(zhì)量和服務(wù)一定是顯微光學領(lǐng)域中無法可比的。

北京瑞科中儀科技有限公司秉承“專業(yè)的人員,過硬的技術(shù),優(yōu)秀的產(chǎn)品"精神,為您提供專業(yè)、及時、周到的技術(shù)服務(wù),北京瑞科中儀科技有限公司必將成為您值得信賴的伙伴!












顯微鏡,激光共聚焦,電鏡,x射線,激光捕獲顯微切割,熒光成像系統(tǒng),DNA/RNA合成儀,半導體行業(yè)儀器設(shè)備,生命科學儀器,光刻機,

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 農(nóng)業(yè),地礦,建材,交通,制藥

感應(yīng)耦合電漿蝕刻(ICP)蝕刻是在標準反應(yīng)離子蝕刻(RIE)的基礎(chǔ)上,添加電感耦合電漿的。感應(yīng)耦合電漿由磁場圍繞石英晶體管所提供。產(chǎn)生的高密度電漿被線圈包圍,將充當變壓器中的次級線圈,加速電子和離子,從而引起碰撞,產(chǎn)生更多的離子和電子。

高密度的電漿和低真空度增強了具有非等向性的高蝕刻速率??梢愿鶕?jù)製程要求通過調(diào)節(jié)來自射頻發(fā)生器的直流偏壓來控制離子和電子能量。

SYSKEY的系統(tǒng)可以精準的控制製程氣體與電漿製程,並提供高精準度的薄膜蝕刻。

感應(yīng)耦合電漿蝕刻

感應(yīng)耦合電漿蝕刻參數(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域腔體
  • 矽化合物蝕刻(SiO2、SiN4)。

  • 光阻蝕刻。

  • III-V族化合物半導體(GaAsn,InP,GaN)蝕刻。

  • 微機電系統(tǒng)。

  • 金屬與矽蝕刻。

  • 陽極電鍍處理鋁腔。

  • 通過使用水冷系統(tǒng)、加熱器或加熱包來控制腔體溫度。



配置和優(yōu)點選件
  • 客製化的基板尺寸,直徑可達12寸晶圓。

  • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3%。

  • 具有高均勻度氣體分佈的質(zhì)量流量控制器。

  • 穩(wěn)定的溫度控制,將載盤加熱至300°C或冷卻至-20°C。

  • 使用Tornado ICP線圈,ICP電漿高達2000W,可增強低溫下的沉積。

  • 低損壞,高速率處理,高深寬比。

  • 基板具有氦氣冷卻之功能,均勻的控制溫度。

  • 均勻的氣體擴散,具有優(yōu)化的氣體分佈。

  • 靜電吸盤。

  • 蝕刻終點偵測(OES,激光)相容性。

  • 可以與傳送腔、機械手臂和手套箱整合在一起。








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