CAPELLA系列 MPI探針臺

1 產(chǎn)品概述：

   探針臺是一種精密的電子測試設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。它集成了載物臺、光學(xué)元件、卡盤、探針卡、探針夾具及電纜組件等多個部分，能夠確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號，從而進行高精度的電氣測量。探針臺根據(jù)操作方式可分為手動、半自動和全自動三種類型，每種類型都有其特定的應(yīng)用場景和優(yōu)勢。

2 設(shè)備用途：

探針臺的主要用途包括：

1. 半導(dǎo)體測試：在晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié)，探針臺負責晶圓的輸送與定位，確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試，實現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。它廣泛應(yīng)用于晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。

2. 光電行業(yè)測試：在光電行業(yè)中，探針臺同樣用于測試光電元件和組件的性能，確保產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。

3. 集成電路測試：探針臺可用于集成電路的測試，包括功能測試、電參數(shù)測試等，幫助工程師評估和優(yōu)化集成電路的性能。

4. 封裝測試：在封裝工藝之前，探針臺可以對封裝基板進行測試，確保封裝過程中不會出現(xiàn)質(zhì)量問題。

3 設(shè)備特點

探針臺具有以下顯著特點：

1. 高精度：探針臺配備高精度的定位系統(tǒng)和微調(diào)機構(gòu)，能夠精確地將探針定位到芯片上測試點，并實現(xiàn)穩(wěn)定的接觸，確保測試的準確性和可靠性。

2. 多功能性：探針臺可用于多種測試場景，包括晶圓檢測、芯片研發(fā)、故障分析、網(wǎng)絡(luò)測量等，具有廣泛的應(yīng)用范圍。

3. 自動化程度高：全自動探針臺通常配備有晶圓材料處理搬運單元（MHU）、模式識別（自動對準）等功能，能夠自動完成測試序列，減少人工干預(yù)，提高測試效率。

4. 靈活性：探針臺可根據(jù)測試需求進行配置和調(diào)整，如可選配接入光纖，將電學(xué)探針替換為光纖，提高測試靈活性。

4  設(shè)備參數(shù)：

  出色的測試精度：短 DUT 和 ISP 分離，實現(xiàn)佳光收集，骰子偏移補償

  通過熱卡盤支持實現(xiàn)準確穩(wěn)定的溫度控制。

  可編程拾取和放置力在5g~200g之間。

 全屏蔽暗盒設(shè)計消除了不必要的照明干擾。

  具有高引腳數(shù)探測能力（4 ~ 256 通道）的多站點測試，可實現(xiàn)高吞吐量。

  電學(xué)/光學(xué)特性的綜合統(tǒng)計和分析工具：色度 （xyz）、強度、輻照度。