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多模態(tài)光電顯微鏡

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托托科技顯微鏡

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 電子,綜合

燭龍™系列中的多模態(tài)光電顯微鏡是一臺具有超高穩(wěn)定性的多功能光電綜合測試和微加工系統(tǒng),可根據(jù)客戶需求提供多種靈活可選的配置和方案。系統(tǒng)集成了電動運動臺和振鏡的掃描方式,可實現(xiàn)瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)下的光電流測試和掃描成像,熒光壽命測試和掃描成像,拉曼光譜測試,二次諧波測試,熒光光譜采集,發(fā)射和吸收等光譜端的測試和掃描成像。除此之外,整套系統(tǒng)可搭配飛秒脈沖激光器和我司自主研發(fā)的低溫系統(tǒng)進行相關(guān)的變溫測試以及器件表面的微加工和缺陷標記。多模態(tài)光電顯微鏡將為眾多新質(zhì)生產(chǎn)力領(lǐng)域提供強大的支持,助力國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展和科技創(chuàng)新。

- 極紫外-太赫茲波段的超寬譜線覆蓋范圍(266nm-0.8THz)

- 多種可選的穩(wěn)態(tài)光源和瞬態(tài)光源

- 提供激光功率和頻率的軟件控制

- 電動顯微聚焦

- 多種可選的光采集模式

- 瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)光源和光路的電動切換

- 線偏振光和圓偏振光的電動偏振測試

- 支持直流,交流以及高頻探針

(漏電流<100fA)

- 支持常溫和變溫下的引線鍵合測試(10K-450K)

- 支持常溫和變溫下的探針測試

(77K-450K)

- 兼容2450,4200,6221等多種源表

- 兼容OE1201,SR810等多種鎖相放大器






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