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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>濕法工藝設(shè)備>濕法清洗設(shè)備>QSG-150 中科微電子 單片晶圓清洗甩干機(jī)

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QSG-150 中科微電子 單片晶圓清洗甩干機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 河北中科微電子有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) QSG-150
  • 產(chǎn)地 河北邯鄲
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/8/14 17:36:27
  • 訪問(wèn)次數(shù) 33

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河北中科微電子有限公司是一家集半導(dǎo)體芯片、微電子、新材料工藝設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售于一體的高科技企業(yè)。

公司匯聚了眾多相關(guān)行業(yè)、領(lǐng)域的高級(jí)管理和技術(shù)人才,具有自主研發(fā)、設(shè)計(jì)和制造工藝設(shè)備的能力。與眾多科研院所及半導(dǎo)體上市公司相關(guān)單位建立開(kāi)放式的技術(shù)交流,旨在不斷解決工藝制備領(lǐng)域不斷變化的市場(chǎng)需求,不斷突破國(guó)外廠家長(zhǎng)期以來(lái)形成的技術(shù)壁壘。 以靈活、創(chuàng)新的合作模式,打造高效的技術(shù)研發(fā)平臺(tái),不斷提升產(chǎn)品核心技術(shù)。 公司尊崇踏實(shí)、拼搏、責(zé)任的企業(yè)精神,并以誠(chéng)信、共贏、開(kāi)創(chuàng)經(jīng)營(yíng)理念,創(chuàng)造良好的企業(yè)環(huán)境, 以全新的管理模式,完善的技術(shù),周到的服務(wù),令人信賴(lài)的品質(zhì)為生存根本,我們始終堅(jiān)持用戶(hù)至上用心服務(wù)于客戶(hù),堅(jiān)持用自己的服務(wù)去打動(dòng)客戶(hù)。

主營(yíng)產(chǎn)品:多晶合成設(shè)備、晶體生長(zhǎng)設(shè)備、晶圓加工設(shè)備,濕法清洗設(shè)備、晶圓檢測(cè)設(shè)備等。



多晶合成設(shè)備,晶體生長(zhǎng)設(shè)備,晶圓加工設(shè)備,濕法清洗設(shè)備,晶圓檢測(cè)設(shè)備

產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 設(shè)備類(lèi)型 單晶圓清洗
清洗方法 濕法清洗 甩干方法 氮?dú)夂娓?/td>

二、主要結(jié)構(gòu)特征
單片清洗甩干機(jī)主要伺服電機(jī),PLC控制器,人機(jī)界面,高潔凈閥門(mén),PFA管,氮?dú)饧訜崞?,防腐蝕外殼,以及甩干頭等部分組成。
2.1材質(zhì):進(jìn)口PP板,能夠滿足潔凈室工作環(huán)境。
2.2專(zhuān)用伺服電機(jī),可實(shí)現(xiàn)每分鐘10-3000轉(zhuǎn),低速均勻清洗,高速離心甩干。
2.3工業(yè)PLC控制器和人機(jī)界面,穩(wěn)定可靠控制各個(gè)部件,直觀可視化操作模式。
2.4大功率氮?dú)饧訜崞鳎焖偌訜岬獨(dú)?,提高烘干效率?/span>
2.5甩干頭詳情 可根據(jù)客戶(hù)需要定制適用不同規(guī)格尺寸的甩干頭。

三、主要技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目

主要性能指標(biāo)和參數(shù)

加工硅片尺寸

2-8 英寸圓片

單次甩干數(shù)量

1片

工位數(shù)量(個(gè))

1

旋轉(zhuǎn)速度 RPM/MIN

10-3000

清洗甩干時(shí)間

2-5min

腔室及氮?dú)饧訜岱绞?/p>

電加熱器

氮?dú)鈮毫?/p>

0.25Mpa,氮?dú)夤芙涌?mm

純水壓力

0.15Mpa, 管接口6mm

排水管

12mm卡套接頭

控制系統(tǒng)

PLC可編程控制器

顯示

4.3寸觸摸屏

電源

220V

整機(jī)功率

2KW

外型尺寸(深*寬*高)mm

長(zhǎng)365mm*寬300mm*高535mm


四、售后服務(wù)及培訓(xùn)

4.1技術(shù)培訓(xùn)

設(shè)備試生產(chǎn)運(yùn)行前,賣(mài)方負(fù)責(zé)培訓(xùn)買(mǎi)方相關(guān)操作和維修人員,內(nèi)容包括設(shè)備操作維護(hù)、故障的分析和處理。

4.2售后服務(wù)

質(zhì)保期內(nèi)設(shè)備如發(fā)生故障,在得到買(mǎi)方通知后 4 個(gè)小時(shí)給答復(fù),24 小時(shí)內(nèi)賣(mài)方派有經(jīng)驗(yàn)的工程師到現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行維修。

賣(mài)方對(duì)設(shè)備提供終生的免費(fèi)技術(shù)支持,隨時(shí)處理、解答買(mǎi)方提出的技術(shù)問(wèn)題。

質(zhì)保期內(nèi)每年派出 1~2 名相關(guān)技術(shù)人員到廠作指導(dǎo)及進(jìn)行相應(yīng)維護(hù)。

技術(shù)培訓(xùn)和售后服務(wù)期間賣(mài)方人員的費(fèi)用由賣(mài)方承擔(dān)。


五、設(shè)備驗(yàn)收

5.1設(shè)備交貨期見(jiàn)商務(wù)合同

5.2交貨方式

設(shè)備在買(mǎi)方的施工現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試完畢、連續(xù)試生產(chǎn)正常運(yùn)行 30 日后,驗(yàn)收合格整體交貨。

設(shè)備到貨開(kāi)箱前賣(mài)方應(yīng)提前3天通知買(mǎi)方,由買(mǎi)方、賣(mài)方和監(jiān)理共同進(jìn)行設(shè)備的初驗(yàn)。

賣(mài)方在設(shè)備包裝發(fā)貨qian10天通知買(mǎi)方到賣(mài)方制造現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收,經(jīng)買(mǎi)方驗(yàn)收人員驗(yàn)收合格簽字后確定發(fā)貨時(shí)間;設(shè)備驗(yàn)收時(shí)須提供相關(guān)驗(yàn)收資料,但不作為設(shè)備的結(jié)束驗(yàn)收。




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