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化工儀器網>產品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計流速儀/測漏儀>質量流量計>SEC-Z514MGX/Z524MGX horiba高精度氣體質量流量計

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SEC-Z514MGX/Z524MGX horiba高精度氣體質量流量計

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 上海進佳科學儀器有限公司
  • 品牌 HORIBA/堀場
  • 型號 SEC-Z514MGX/Z524MGX
  • 產地 日本
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/12/9 14:30:52
  • 訪問次數 440

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我公司代理進口品牌多年,有兩大業(yè)務:horiba質量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件。

HORIBA著名的半導體設備供應商,主要提供氣體質量流量控制器、液體質量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導體設備PECVD、MOCVD、Etch等關鍵工藝有非常廣泛的應用。暢銷的質量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列、SEC-D500系列、SEC-Z500系列,低成本的有SEC-N100系列、SEC-E40系列及國內組裝的S600系列、S48系列、S500系列。液體流量控制器有LV-F50、LF-F60,壓力液體汽化器UR-Z700系列、GR-200系列、GR-300系列、PV-1000,氣體濃度計IR-300、IR-400,汽化器有VE10、VE20、MV-2000,皂膜流量計SF/VP系列,真空計VG-200S


儀器儀表代理品牌是美國dwyer、美國Omega、日本Horiba。美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,是美國*的儀器儀表生產商,有多個自主品牌:Magnehelic、Flotect、MercoidLove,主要產品有:差壓表2000-250Pa、負壓表2000-500Pa、2000-60pa2000-25MBAR、2000-3KPA、2000-1000PA;數顯變送器MS-111、MS111LCD、MS121LCDMS311LCD、MS141LCD;防爆差壓開關1950-1-2F、1950-5-2F1950-20-2F、1950G-1-2F-24、1950-0-2F;flotect流量開關V4-2-U、V6EPBBS1BAT、V6EPBBS3BAT、V6EPBBSLF;flotect液位開關L6EPBBS3CCSA;風速變送器641-6-LED、641-12-LED、641RM-12-LED;轉子流量計RMB-11-SSV-APF、RMA-13-SSV-APFRMA-25-SSV-APF、RMA-150-SSV-APF、RMB-51D-SSV-BPF、RMB-57D-SSV-BPFRMB-85D-SSV-BPF、VFA-2-BV;高低壓報警開關A3000-1KPA-240VAC、A3000-750PA-240VAC3000MR-500PA、3000MR-60PA、3000MR25MM;防爆差壓開關AT23000MRAT21910、AT21823、AT2MSAT21640、AT11910AT1ADPS。

另有美國Omega熱電偶、Omega熱電偶插頭、Omega熱電偶線、Omega流量計等;韓國TK,SUPER LOK,卡套,超純隔膜閥,VCR直通,鎳墊片,焊接、卡套、VCR接頭,廣泛應用于電子半導體,太陽能,暖通,空調,食品,制藥,生物工程,智能樓宇,電廠,化工,水處理,環(huán)境監(jiān)測,工業(yè)制造和實驗室等領域。



氣體質量流量計,熱式質量流量計,熱式質量流量控制器,液體質量流量計,液體質量流量控制器,壓力調節(jié)閥,壓差表、壓差傳感器、制粒干燥機

產地類別 進口 產品種類 質量式
價格區(qū)間 面議 介質分類 氣體
應用領域 生物產業(yè),能源,電子,汽車,電氣

horiba高精度氣體質量流量計Z514/SEC-Z524/SEC-Z534

暢銷型號:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選低成本數字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國內組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

國內組裝數字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212

氣體質量流量計又稱氣體質量流量控制器,簡稱MFC。

主要功能是:控制器管路中的流量達到期望的設定值,同時反饋實際的流量信號到上位機。

大流量Horiba氣體質量流量計SEC-Z524是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC,用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中,國內多回收、二次銷售,我公司提供進口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等,保證全新進口,終身維修。

horiba高精度氣體質量流量計SEC-Z514MGX/Z524MGX產品特點:

1)多種氣體及多種流量范圍,可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量,現場設定;

2)超高精度:±1.0% S.P.(25-100% F.S.); ±0.25% F.S.(≤25% F.S.);

3)快速響應:<1秒(全量程范圍內,任意設置點);

4)非常方便的現場設置操作;

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器,可以zui大限度地減少庫存;

6)與現有模擬式質量流量控制器兼容;

7)可選其他數字通訊:DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號。

產品參數:

規(guī)格-數字-模擬轉換模式
型號*1SEC-Z512、Z514SEC-Z512MGXSEC-Z522MGXNSEC-Z522MGX
SEC-Z514MGXSEC-Z524MGXNSEC-Z524MGX
全標準流量1/2SCCM
10-50SLM
(N2轉換流量)10SCCM-10SLPM
閥門類型O:通常打開 C:通常關閉
關閉控制閥時的流量≤2% F.S.
流量測量范圍0-100% of F.S.
精確性*2±1.0%F.S.±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作溫度5-50°C(建議溫度范圍:15-45°C)
響應≤1秒:超過全流量范圍
直線性≤±0.5% F.S.
反復性≤±0.2% F.S.
工作壓差值≤300kPa(d)
zui大工作壓力450kPa(g)
耐壓1000kPa(g)
外部泄漏率≤5x10-12 Pa·m3/s(He)
流量設定信號0.1 - 5 V DC (2% - F.S.);輸入阻抗1MΩ或更高
流量輸出信號0 -5 V DC (0% - F.S.);zui小負荷阻力2kΩ或更高
數字界面地址功能: RS-485(轉換速度38,400bps)
F-Net 協(xié)議,DevceNet
接液部材質316L 不銹鋼(表面拋光)
電源+15V±5% 150mA
-15V±5% 150mA
信號反應模擬: D-Sub 9-pin (TOP)
數字: 2 LAN jacks (TOP)
標準接頭*31/4 inch VCR1/4 inch VCR1.5 inch IGS
選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS可選1.125 inch IGS
安裝方向自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變。

*2流量精度保證溫度符合SEMI E56-1296標準。精度是聯合全范圍MR以及MG數字值。

*3IGS:完整氣體系統(tǒng)。

*SCCM 和 SLM是表示氣體流量的記號。(mL/min,L/min,at 0°C和101.3 kPa)

訂購注意:

請?zhí)峁┊a品的介質名稱、氣體量程、接口尺寸。

如是設備備件的更換,請?zhí)峁┰a品的背面圖片和側面圖片、頂部圖片。



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