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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計(jì)流速儀/測(cè)漏儀>質(zhì)量流量計(jì)>SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542

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SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542

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我公司代理進(jìn)口品牌多年,有兩大業(yè)務(wù):實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和儀器儀表及配套管接件。

實(shí)驗(yàn)室設(shè)備代理品牌為日本Yamato雅馬拓科學(xué),又稱“大和科學(xué)”,是*的科學(xué)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備生產(chǎn)商,主要設(shè)備有:噴霧干燥器ADL311、DL410,恒溫水槽BV100S、蒸汽滅菌器SN310、SN410、SQ510SQ810,SQ310、SQ810,干燥箱DKN、DKM,低溫培養(yǎng)箱,水循環(huán)裝置,旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,Yamato恒溫水槽BV100S、VS4、循環(huán)泵CP08PPRE10、LFA150LCA150等。

儀器儀表代理品牌是美國dwyer、美國Omega、日本Horiba。美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,是美國*的儀器儀表生產(chǎn)商,有多個(gè)自主品牌:MagnehelicFlotect、Mercoid、Love,主要產(chǎn)品有:差壓表2000-250Pa、負(fù)壓表2000-500Pa、2000-60pa、2000-25MBAR、2000-3KPA、2000-1000PA;數(shù)顯變送器MS-111MS111LCD、MS121LCD、MS311LCD、MS141LCD;防爆差壓開關(guān)1950-1-2F、1950-5-2F、1950-20-2F、1950G-1-2F-24、1950-0-2F;flotect流量開關(guān)V4-2-U、V6EPBBS1BAT、V6EPBBS3BAT、V6EPBBSLF;flotect液位開關(guān)L6EPBBS3CCSA;風(fēng)速變送器641-6-LED641-12-LED、641RM-12-LED;轉(zhuǎn)子流量計(jì)RMB-11-SSV-APF、RMA-13-SSV-APF、RMA-25-SSV-APF、RMA-150-SSV-APFRMB-51D-SSV-BPF、RMB-57D-SSV-BPFRMB-85D-SSV-BPF、VFA-2-BV;高低壓報(bào)警開關(guān)A3000-1KPA-240VACA3000-750PA-240VAC、3000MR-500PA、3000MR-60PA、3000MR25MM;防爆差壓開關(guān)AT23000MR、AT21910AT21823、AT2MS、AT21640、AT11910、AT1ADPS

另有美國Omega熱電偶、Omega熱電偶插頭、Omega熱電偶線、Omega流量計(jì)等;韓國TK,SUPER LOK,卡套,超純隔膜閥,VCR直通,鎳墊片,焊接、卡套、VCR接頭,廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體,太陽能,暖通,空調(diào),食品,制藥,生物工程,智能樓宇,電廠,化工,水處理,環(huán)境監(jiān)測(cè),工業(yè)制造和實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域。

 

噴霧干燥器,制粒干燥機(jī),恒溫箱,高精度恒溫箱,微差壓表,壓差表,壓差開關(guān),防爆壓差開關(guān),數(shù)顯差壓變送器,防爆差壓變送器,防爆壓力變送器,防爆壓力開關(guān),風(fēng)速變送器,數(shù)顯風(fēng)速儀,手持式壓差計(jì),手持式風(fēng)速儀,風(fēng)量罩,浮子流量計(jì),防腐蝕流量計(jì),流量開關(guān),防爆流量開關(guān),防爆液位開關(guān),溫度記錄儀,溫濕度記錄儀,溫濕度變送器,手泵,氣體質(zhì)量流量控制器,氣體質(zhì)量流量計(jì),數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器,液體質(zhì)量流量計(jì)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價(jià)格區(qū)間 1萬-3萬 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,汽車,電氣

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z522/Z532/Z542

量程0-20SLM、0-200SLM,RS485通訊/0-5VDC

暢銷型號(hào): SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGMSEC-N114MGM、SEC-N122MGMSEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型:SEC-E40SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3

國內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

國內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212、S600 BR222S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212  

   

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522 又稱氣體質(zhì)量流量控制器,簡(jiǎn)稱MFC

主要功能是:控制器管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值,同時(shí)反饋實(shí)際的流量信號(hào)到上位機(jī)。

大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC,用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中,國內(nèi)多回收、二次銷售,

我公司提供進(jìn)口

SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等,

保證全新進(jìn)口,終身維修。


產(chǎn)品特點(diǎn)
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場(chǎng)設(shè)定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應(yīng):< 1(全量程范圍內(nèi),任意設(shè)置點(diǎn));
4) 非常方便的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,可以
zui大限度地減少庫存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;
7)
可選其他數(shù)字通訊:DeviceNet、EtherCATCC-Link、模擬信號(hào)。


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產(chǎn)品參數(shù)

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式

型號(hào)*1

SEC-Z512、Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全標(biāo)準(zhǔn)流量
(N2 轉(zhuǎn)換流量)

1/2SCCM


10SCCM
-10SLPM

10-50SLM

閥門類型

O: 通常打開 C: 通常關(guān)閉

關(guān)閉控制閥時(shí)的流量

≤ 2% F.S.

流量測(cè)量范圍

0-100% of F.S.

精確性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作溫度

5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)

響應(yīng)

≤ 1 :超過全流量范圍

直線性

≤ ±0.5% F.S.

反復(fù)性

≤ ±0.2% F.S.

工作壓差值

≤ 300 kPa (d)

zui大工作壓力

450 kPa (g)

耐壓

1000 kPa (g)

外部泄漏率

≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)

流量設(shè)定信號(hào)

0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高

流量輸出信號(hào)

0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負(fù)荷阻力 2 kΩ 或更高

數(shù)字界面

地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)

F-Net 協(xié)議,DevceNet

接液部材質(zhì)

316L 不銹鋼(表面拋光)

電源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信號(hào)反應(yīng)

模擬: D-Sub 9-pin (TOP)

數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)

標(biāo)準(zhǔn)接頭*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可選1.125 inch IGS

安裝方向

自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變。
*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標(biāo)準(zhǔn)。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
*3IGS: 完整氣體系統(tǒng)
*SCCM SLM 是表示氣體流量的記號(hào)。 (mL/min, L/min, at 0°C101.3 kPa)

訂購注意:

請(qǐng)?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。

如是設(shè)備備件的更換,請(qǐng)?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。






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