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汞CV測(cè)試MCV測(cè)試儀
- 公司名稱 九域半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/1/16 13:34:49
- 訪問次數(shù) 395
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
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是一款汞探針CV自動(dòng)圖形掃描測(cè)量系統(tǒng)。它使用高頻CV測(cè)量分析系統(tǒng),可以對(duì)75mm、100mm、125mm、150mm、200mm(以及300mm)直徑的測(cè)試片進(jìn)行測(cè)量和自動(dòng)成圖。該系統(tǒng)采用的汞探針設(shè)計(jì),從而允許測(cè)試片正面朝上,相比于傳統(tǒng)的汞探針測(cè)試系統(tǒng)將測(cè)試片正面朝下吸附在樣品臺(tái)上而言,該設(shè)計(jì)能夠避免在成圖測(cè)量時(shí)的表面沾污和破壞。探針的CV系統(tǒng)是一種雙極測(cè)試設(shè)備,兩個(gè)接口被分別連接在樣品的兩個(gè)電極上。實(shí)際的CV測(cè)試包括兩個(gè)方面:在樣品電極上施加反向(或正向)偏置電壓;測(cè)試兩個(gè)接口之間的電容。
金屬電極和耗盡區(qū)構(gòu)成一個(gè)極板電容,這和兩塊金屬板構(gòu)成的空氣電容類似。當(dāng)反偏電壓越來越大時(shí),耗盡層越來越深,對(duì)應(yīng)的電容會(huì)越來越小。從測(cè)到的電容電壓數(shù)據(jù)對(duì),我們可以分析計(jì)算出摻雜濃度隨深度的變化曲線。從得到的曲線可以進(jìn)一步判斷摻雜濃度在深度分布上是否均勻等