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無(wú)掩膜/激光直寫(xiě)光刻機(jī)
- 公司名稱(chēng) 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/22 15:36:29
- 訪問(wèn)次數(shù) 58
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純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射
v 光源:375 nm、385 nm、405 nm 激光器
v 線寬:0.5μm、0.6μm、1.0μm、1.5μm
v 光刻效率:3000mm2/min@5μm
v XY行程:55~205mm
v 樣品尺寸:最小3mm*3mm 8 inch
v 應(yīng)用領(lǐng)域:生物芯片、功率芯片光刻、掩膜版制造、3D衍射光學(xué)元件、芯片封裝、光通訊芯片光刻