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日本Certas Wing 化學(xué)氣體干法刻蝕機 產(chǎn)品關(guān)鍵詞:化學(xué)刻蝕機;干法刻蝕機多少錢一臺;刻蝕機氣體;日本的刻蝕機
| 參考價 | ￥ 480000 |
| 訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 深圳市科時達電子科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/11/4 16:28:24
- 訪問次數(shù) 71
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Certas WING 化學(xué)氣體干法刻蝕機
“Certas WING”設(shè)計用于加工300mm晶圓，是Certas的代系統(tǒng)。這是一種 ，高產(chǎn)量的氣體化學(xué)蝕刻系統(tǒng)，可以在不使用清洗液的情況下進行表面蝕刻和清洗。與濕式清潔相比，已經(jīng)干燥的處理單元不使用化學(xué)品，不需要昂貴的廢物處理設(shè)備，并且具有改進的可維護性。它了水印，并提供了各種氧化膜蝕刻的選擇比例，細微的界面清潔控制，與TEL清潔系統(tǒng)一起使用時具有更高的靈活性。它支持從批量生產(chǎn)到下一代開發(fā)的廣泛應(yīng)用。
特征
的氧化膜選擇性蝕刻和氣體化學(xué)品預(yù)處理
新的腔室設(shè)計實現(xiàn)了高吞吐量（大約兩倍）和小占用空間
無等離子處理可實現(xiàn)耗材的高正常運行時間和低成本
應(yīng)用
氧化硅膜的蝕刻和回蝕
硅觸點預(yù)清洗
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