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臺(tái)式光刻機(jī)

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臺(tái)式光刻機(jī)

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       江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司2013年9月成立于江蘇江陰,是一家初期以高檔專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器開發(fā)為目標(biāo)的海歸創(chuàng)業(yè)企業(yè)。2020年8月,江蘇雷博科儀通過資源整合,將雷博科儀中發(fā)展起來的的工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)分拆出來成立了江蘇雷博微電子設(shè)備有限公司。兩家公司使用同一品牌 ,獨(dú)立經(jīng)營不同系列產(chǎn)品。公司主營高檔實(shí)驗(yàn)室儀器及半導(dǎo)體設(shè)備開發(fā)業(yè)務(wù)。公司技術(shù)力量雄厚,人才濟(jì)濟(jì),憑借雄厚的技術(shù)實(shí)力不斷進(jìn)行新產(chǎn)品開發(fā)和創(chuàng)新實(shí)現(xiàn),在納米薄膜制備類儀器領(lǐng)域取得了顯著的市場(chǎng)地位。公司生產(chǎn)的高精度高可靠性勻膠機(jī)榮獲江蘇省高新技術(shù)產(chǎn)品,是國內(nèi)勻膠機(jī)全系列、多功能、定制化服務(wù)的供應(yīng)商。
       公司生產(chǎn)和銷售不同領(lǐng)域的高檔科研儀器和工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備:Schwan technology®是我們的納米薄膜制備類設(shè)備品牌,主要有勻膠機(jī)、顯影機(jī)、烤膠機(jī)、提拉機(jī)、噴膠機(jī)、涂膜機(jī)、狹縫涂布機(jī)等相關(guān)產(chǎn)品;LEBO science®是我們的工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備品牌,主要有勻膠機(jī)、顯影機(jī)、蝕刻機(jī)、去膠機(jī)、清洗機(jī)等獨(dú)立柜式機(jī)臺(tái)及工業(yè)全自動(dòng)機(jī)臺(tái)。
       公司產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于納米薄膜制備需求的鈣鈦礦薄膜太陽能、有機(jī)光電、MEMS、聲表、光通訊、化合物半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝等領(lǐng)域,具有核心技術(shù)可靠、高性價(jià)比、定制化服務(wù)的競爭優(yōu)勢(shì)。 

       公司目前團(tuán)隊(duì)人數(shù)80多人,業(yè)績和規(guī)模處于快速擴(kuò)展期,2013年起年銷售額一直保持快速增長,目前正準(zhǔn)備二輪融資擴(kuò)產(chǎn)。公司生產(chǎn)廠房設(shè)有裝配潔凈車間及黃光試驗(yàn)區(qū),其中生產(chǎn)區(qū)域約1500平方米,辦公及倉儲(chǔ)區(qū)域約1000平方米。

勻膠機(jī),烤膠機(jī),涂膜機(jī),狹縫涂布機(jī),紫外清洗機(jī),電解雙噴儀

  臺(tái)式光刻機(jī)參數(shù):
 
  1.最大曝光面積:160mm*160mm
 
 ?、?曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)
 
  3.對(duì)準(zhǔn)精度:± 1um(標(biāo)準(zhǔn)晶圓拋光片)
 
  4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2
 
  5.曝光波長:LED光源(進(jìn)口燈珠,壽命>1萬小時(shí))
 
  6.曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式)
 
  7.掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)范圍:X:優(yōu)于±5mm;
 
  8.Y:優(yōu)于±5mm;0:優(yōu)于±6°
 
  9.掩模尺寸:7英寸,樣片規(guī)格:6英寸(晶圓片)
 
  10.數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙
 
  11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續(xù)可調(diào)
 
  12.對(duì)準(zhǔn)方式:自動(dòng)對(duì)準(zhǔn),可根據(jù)客戶需求,增加對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的類型,累計(jì)不超過4組
 
  13.自動(dòng)輸片:機(jī)械手自動(dòng)輸片(專用樣片機(jī)械手臂及片叉),含預(yù)對(duì)準(zhǔn)定位功能
 
  14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數(shù)字設(shè)定)
 
  15.具備正壓氣浮曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能CCD+遠(yuǎn)心鏡頭+顯示器對(duì)準(zhǔn),光學(xué)合像
 
  16.調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
 
  17.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-130mm
 


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