AutoSE 一鍵式全自動快速橢偏儀

全自動化&高集成度&可視化光斑

操作簡單，測試快速，為一般操作工人設(shè)計

一鍵式全自動快速橢偏儀 Auto SE——新型的全自動薄膜測量分析工具。

采用工業(yè)化設(shè)計，操作簡單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動測量和分析，并輸出分析報告。是用于薄膜測量和器件質(zhì)量控制的解決方案。

主要特點：

• 液晶調(diào)制技術(shù)，無機械轉(zhuǎn)動部件，重復(fù)性，信噪比高

• 技術(shù)成像系技術(shù)，所有樣品均可成像，對于透明樣品,自動去除樣品的背反射信號,使得數(shù)據(jù)分析更簡單.

• 反射式微光斑，覆蓋全譜段，利于非均勻樣品圖案化樣品測試

• 全自動集成度高，安裝維護(hù)簡便

• 一鍵式操作軟件，快速簡單

• 自動MAPPING掃描，分析樣品鍍膜均勻性

一鍵式全自動快速橢偏儀技術(shù)參數(shù)：

• 光譜范圍：450-1000 nm

• 多種微光斑自動選擇

• 光斑可視技術(shù)，可觀測任何樣品表面

• 自動樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

• 70度角入射

• CCD探測器

高集成度全自動式設(shè)計，操作簡便，安裝快速，自動校驗故障

• 液晶相調(diào)制

• 16個穆勒矩陣參數(shù)

• 1秒內(nèi)完成全譜測量

• MyAuto View可視光斑技術(shù)

• 微光斑，四種可選

• 一鍵式操作，一鍵出報告