半導(dǎo)體爐管清洗機(jī) 爐管道清洗

爐管清洗機(jī)是一種專門用于清洗工業(yè)爐管內(nèi)壁的設(shè)備，旨在去除積碳、結(jié)焦和其他雜質(zhì)，以保持爐管的清潔和正常運(yùn)作。以下是對(duì)爐管清洗機(jī)的詳細(xì)介紹：

設(shè)備構(gòu)成

儲(chǔ)液部：負(fù)責(zé)儲(chǔ)存清洗所需的化學(xué)藥劑或去離子水。

清洗部：包括清洗槽、溢流排放槽等，是進(jìn)行實(shí)際清洗操作的部分。

供液機(jī)構(gòu)：將儲(chǔ)液部的液體輸送到清洗部，確保清洗過程中液體的供應(yīng)。

廢液回收機(jī)構(gòu)：收集并處理清洗過程中產(chǎn)生的廢液，減少環(huán)境污染。

工件支撐及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)：用于支撐待清洗的爐管，并通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使?fàn)t管在清洗過程中轉(zhuǎn)動(dòng)，以提高清洗效率。

排風(fēng)系統(tǒng)：在清洗過程中排出可能產(chǎn)生的有害氣體，保障工作環(huán)境的安全。

給排水系統(tǒng)：負(fù)責(zé)設(shè)備的給水和排水，確保清洗過程的順利進(jìn)行。

電器部分：包括控制系統(tǒng)、傳感器、電磁閥等，用于控制設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)和參數(shù)設(shè)置。

技術(shù)特點(diǎn)

主體材料：采用德國進(jìn)口的PP板和優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架，外包PP板，確保設(shè)備的耐腐蝕性和結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。

管路材質(zhì)：DIW管路及構(gòu)件采用日本進(jìn)口的clean-PVC管材，酸堿管路采用PFA/PVDF材質(zhì)，滿足高純度和安全性要求。

安全措施：設(shè)有EMO(急停裝置)、強(qiáng)電弱點(diǎn)隔離、三層防漏樓盤傾斜漏液報(bào)警等多重安全保護(hù)措施，確保設(shè)備運(yùn)行的安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：用于石英爐管或石英舟的濕法化學(xué)處理，如腐蝕、清洗等步驟。

光學(xué)鍍膜：在光學(xué)器件的鍍膜前，對(duì)石英基片進(jìn)行清洗，去除表面的雜質(zhì)和污染物。

材料科學(xué)研究：用于清洗實(shí)驗(yàn)中使用的石英爐管或石英舟。