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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設(shè)備>濕法清洗設(shè)備> 水平爐管清洗機(jī)|蘇州芯矽電子科技

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水平爐管清洗機(jī)|蘇州芯矽電子科技

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/12/6 10:07:22
  • 訪問次數(shù) 54

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芯矽科技是一家專注半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實(shí)驗(yàn)室研發(fā)級(jí)到全自動(dòng)量產(chǎn)級(jí)槽式清洗機(jī),單片清洗機(jī),高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動(dòng)晶圓化學(xué)鍍設(shè)備,12寸全自動(dòng)爐管/ Boat /石英清洗機(jī)已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位,已經(jīng)成功取得長江存儲(chǔ),中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導(dǎo)體濕法設(shè)備

水平爐管清洗機(jī)是一種專門用于清洗石英爐管或石英舟的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜和材料科學(xué)研究等領(lǐng)域。以下是關(guān)于水平爐管清洗機(jī)的詳細(xì)介紹:

一、設(shè)備概述

水平爐管清洗機(jī)通過浸泡、旋轉(zhuǎn)和噴淋等方式對(duì)爐管內(nèi)壁進(jìn)行高效清洗,以去除顆粒、有機(jī)物、金屬離子等污染物。其結(jié)構(gòu)主要由清洗槽、溢流排放槽、本體、工件支撐及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、排風(fēng)系統(tǒng)、給排水系統(tǒng)及電器部分構(gòu)成。該設(shè)備具有自動(dòng)化程度高、操作簡便、清洗效果好等優(yōu)點(diǎn)。

二、主要特點(diǎn)

自動(dòng)化程度高:設(shè)備采用PLC控制,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)運(yùn)行,無需人工干預(yù),大大降低了人力成本,同時(shí)提高了生產(chǎn)效率。

清洗效果好:通過浸泡、旋轉(zhuǎn)和噴淋等多種方式相結(jié)合,能夠去除爐管內(nèi)壁的污染物,確保清洗效果。

操作簡便:設(shè)備設(shè)計(jì)人性化,操作界面友好,易于上手。同時(shí),設(shè)備還具備故障自診斷功能,方便用戶及時(shí)排除故障。

安全可靠:設(shè)備采用多重安全保護(hù)措施,如漏電保護(hù)、過載保護(hù)等,確保操作過程的安全可靠性。

節(jié)能環(huán)保:在清洗過程中,設(shè)備采用節(jié)能技術(shù),降低能耗,同時(shí)減少廢水、廢氣等污染物的排放,符合綠色環(huán)保理念。

三、應(yīng)用領(lǐng)域

水平爐管清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:

半導(dǎo)體制造:用于清洗半導(dǎo)體制造過程中使用的石英爐管,確保爐管的清潔度,提高芯片的良率和性能。

光學(xué)鍍膜:在光學(xué)鍍膜過程中,爐管的清潔度直接影響到鍍膜的質(zhì)量。水平爐管清洗機(jī)能夠有效去除爐管內(nèi)的污染物,保證鍍膜質(zhì)量。

材料科學(xué)研究:在材料科學(xué)研究中,需要對(duì)爐管進(jìn)行嚴(yán)格的清洗,以確保實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)確性和可靠性。水平爐管清洗機(jī)能夠滿足這一需求。

四、技術(shù)參數(shù)(示例)

電源:AC 380V 三相五線制

總功率:約25KW

外形尺寸:長寬高 600016001800mm(不含尾氣塔)

清洗對(duì)象長度:2000mm

清洗對(duì)象外徑范圍:Ф10~Ф150mm

旋轉(zhuǎn)速度:變頻調(diào)速,0~30轉(zhuǎn)/分可調(diào)

裝料高度:≤700mm

排水口:DN25

進(jìn)水口:DN20

節(jié)拍時(shí)間:<120S/籃(含液位等待時(shí)間)

單次處理量:1件Φ150以內(nèi),長度≤2000mm的石英爐管或2件石英舟(極大限額)



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