結(jié)晶度 KAKUHUNTER寫真化學(xué) 多孔薄膜膜厚監(jiān)測(cè)儀

KAKUHUNTER寫真化學(xué) 多孔薄膜膜厚監(jiān)測(cè)儀 

KAKUHUNTER寫真化學(xué) 多孔薄膜膜厚監(jiān)測(cè)儀 

反射式膜厚監(jiān)測(cè)儀是一種反射分光式膜厚計(jì)，采用小型反射探頭并采用光學(xué)干涉測(cè)量法，可應(yīng)用于從實(shí)驗(yàn)室水平到生產(chǎn)過(guò)程中在線100%檢查的所有情況。它具有出色的可維護(hù)性，可以集成到工藝設(shè)備中或用于生產(chǎn)線管理目的。

最多可同時(shí)測(cè)量 9 種透明薄膜。

它具有出色的可維護(hù)性，可以集成到工藝設(shè)備中或用于生產(chǎn)線管理目的。

例如，它可以用作成膜、拋光和蝕刻過(guò)程中的在線監(jiān)控器或終點(diǎn)監(jiān)控器（終點(diǎn)檢測(cè)傳感器），并可以實(shí)時(shí)監(jiān)控膜厚。它

還可用于評(píng)價(jià)多晶硅的結(jié)晶度和多孔薄膜的密度。

  通過(guò)使用高度為30毫米的小型探頭，可以安裝在設(shè)備內(nèi)部的狹小空間內(nèi)。

使用有效介質(zhì)近似（EMA）法計(jì)算混合層的混合比并測(cè)定結(jié)晶度

光學(xué)常數(shù)分析

操作示例 1：Endpoint Monitor 演示 1

操作示例 2：Endpoint Monitor 演示 2

推薦環(huán)境條件

溫度：設(shè)定點(diǎn)在18至45℃范圍內(nèi) 

長(zhǎng)期變化：±2.0℃/24小時(shí)以上（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定值） 

短期變化：±1.0℃/1小時(shí)x 1個(gè)周期（參考設(shè)定點(diǎn)） 

濕度：45%±20%（無(wú)凝露） 

代理品牌：CCS晰寫速 SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

優(yōu)勢(shì)品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬(wàn)斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮

HEIDON新東、KURABO倉(cāng)紡、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫(kù)斯、YODOGAWA淀川等

優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品：日本紫外線照度計(jì)、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測(cè)燈

變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、應(yīng)力表面檢查儀、LED光源機(jī)、電子天平、粘度計(jì)、膜厚計(jì)，恒流泵、采樣泵、PH計(jì)、水分計(jì)、地震測(cè)試儀、脫泡攪拌機(jī)、壓力傳感器、氣體檢測(cè)儀，接近開關(guān)、拉拔機(jī)、異音檢測(cè)儀、離心機(jī)，下死點(diǎn)檢測(cè)裝置、空氣測(cè)量泵、應(yīng)變測(cè)試儀等期待您的咨詢。