晶圓厚度 KAKUHUNTER寫真化學(xué) 測(cè)繪膜自動(dòng)薄膜厚儀

KAKUHUNTER寫真化學(xué) 測(cè)繪膜自動(dòng)薄膜厚儀

KAKUHUNTER寫真化學(xué) 測(cè)繪膜自動(dòng)薄膜厚儀

特征

測(cè)繪膜厚儀能夠自動(dòng)測(cè)繪晶圓整個(gè)表面的膜厚，最大可達(dá)300毫米。自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能和高度平坦的晶圓吸盤可實(shí)現(xiàn)高度可靠的膜厚測(cè)量。 另外，通過(guò)設(shè)置在半導(dǎo)體制造裝置的裝載口，可以在保持清潔度的同時(shí)管理制造裝置上的膜厚。

1可對(duì)最大 300mm 的晶圓進(jìn)行全表面自動(dòng)薄膜厚度測(cè)繪

2自動(dòng)對(duì)位功能

3通過(guò)使用具有高平坦度的晶圓卡盤，提高了晶圓平面內(nèi)的測(cè)量可靠性

通過(guò)自動(dòng)檢測(cè)缺口和定向平面位置以及自動(dòng)檢測(cè)晶圓偏心，實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。

4可以根據(jù)應(yīng)用選擇三種類型的光源

5透明蓋使測(cè)量過(guò)程中的運(yùn)動(dòng)一目了然

6一體化設(shè)計(jì)節(jié)省空間

測(cè)量數(shù)據(jù)示例（2D膜厚分布）

貼合晶圓的硅厚度（nm）

測(cè)量數(shù)據(jù)示例（3D膜厚分布）

貼合晶圓的硅厚度（nm）

測(cè)量數(shù)據(jù)示例（膜厚頻率分布）

貼合晶圓的硅厚度

測(cè)量數(shù)據(jù)示例（多個(gè)晶圓的膜厚分布箱線圖）

5個(gè)晶圓的膜厚分布趨勢(shì)

代理品牌：CCS晰寫速 SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

優(yōu)勢(shì)品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬(wàn)斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮

HEIDON新東、KURABO倉(cāng)紡、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫(kù)斯、YODOGAWA淀川等

優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品：日本紫外線照度計(jì)、紫外線裝置燈管、LED視覺(jué)光源、表面檢查燈、手持檢測(cè)燈

變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、應(yīng)力表面檢查儀、LED光源機(jī)、電子天平、粘度計(jì)、膜厚計(jì)，恒流泵、采樣泵、PH計(jì)、水分計(jì)、地震測(cè)試儀、脫泡攪拌機(jī)、壓力傳感器、氣體檢測(cè)儀，接近開(kāi)關(guān)、拉拔機(jī)、異音檢測(cè)儀、離心機(jī)，下死點(diǎn)檢測(cè)裝置、空氣測(cè)量泵、應(yīng)變測(cè)試儀等期待您的咨詢。