化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>鍍膜機(jī)>FPTOR-MagSput 磁控濺射沉積系統(tǒng)
FPTOR-MagSput 磁控濺射沉積系統(tǒng)
參考價(jià) | ¥800000-¥1200000/件 |
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌孚光精儀
- 型號(hào)FPTOR-MagSput
- 所在地上海市
- 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間2024/12/16 10:59:33
- 訪問次數(shù) 52
聯(lián)系方式:華小姐021-22799028 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 80萬-100萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,綜合 |
磁控濺射系統(tǒng)MagSput™是下一代磁控濺射沉積系統(tǒng),實(shí)用性腔,可擴(kuò)展性高,且高度可靠,非常適合磁控濺射鍍膜科學(xué)研究。
磁控濺射系統(tǒng)可定制。該腔室可設(shè)計(jì)為接受額外的蒸發(fā)源,未使用的端口用法蘭封閉,以便將來添加。
磁控濺射系統(tǒng)附加設(shè)備可以包括磁控管槍、熱阻源或電子束蒸發(fā)。
磁控濺射系統(tǒng)MagSput™是專為研發(fā)和原型生產(chǎn)而設(shè)計(jì)的柔性平面磁控濺射系統(tǒng)。該系統(tǒng)可用于開發(fā)各種應(yīng)用的沉積工藝,包括多層光學(xué)涂層、傳感器設(shè)備、太陽能電池、燃料電池、薄膜研究、超導(dǎo)體研究、ASIC、MEMs、磁性設(shè)備和生物醫(yī)學(xué)研究。
柔性平面磁控濺射
磁控濺射系統(tǒng)MagSput™易于重新配置,適用于需要不同系列沉積材料的應(yīng)用。該系統(tǒng)處理直徑達(dá)12英寸的晶片,并容納奇數(shù)尺寸的基板。此外,由于多槍能力,可以進(jìn)行共濺射、不破壞真空的順序?yàn)R射和反應(yīng)濺射(使用活性氣體混合物)。帶有特殊安裝的獨(dú)立火炮可進(jìn)行角度調(diào)整。
磁控濺射系統(tǒng)MagSput™采用基于Labview™的軟件,帶來了*****、用戶友*的計(jì)算機(jī)控制™ ,該軟件的自動(dòng)過程控制確保了*有效的沉積以及操作的簡便性。手動(dòng)選項(xiàng)可輕松啟動(dòng)和故障排除。
磁控濺射系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
電拋光不銹鋼腔室(D形盒)
帶手動(dòng)快門的前門上的4“直徑觀察口
具有各種靶尺寸的單/多磁控管槍組件
所有光源的手動(dòng)快門組件
直流/射頻濺射沉積
匹配雙級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片泵的渦輪分子真空泵系統(tǒng)
帶沉積控制器的石英晶體厚度傳感器
帶數(shù)字讀數(shù)的質(zhì)量流量控制器
帶顯示和讀數(shù)的全量程真空計(jì)
容易的目標(biāo)安裝
半自動(dòng)控制系統(tǒng)