PS4/PS8 Prober Shuttle PS8

Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達(dá)八個(gè)MM4 微機(jī)械手以及一個(gè)三軸子平臺(tái)。27 個(gè)軸中的每個(gè)軸都能以JI高的精度進(jìn)行定位。探針的 Z 驅(qū)動(dòng)向上擺動(dòng) 90°，便于接近樣品，也便于快速更換針尖。

每個(gè)微型MM4機(jī)械手都配備了用于低電流測量套件。整個(gè)平臺(tái)可通過一個(gè) 6" Load Lock進(jìn)入掃描電鏡或掃描電鏡/FIB 的真空室。

Prober Shuttle PS8,還配有高級(jí)探測工具套件（可選），可為Probing探測應(yīng)用提供大量附加功能?？捎糜诎雽?dǎo)體材料，器件，結(jié)構(gòu)等電學(xué)性能分析。

系統(tǒng)特點(diǎn)

所有空氣側(cè)硬件均安裝在 19 英寸機(jī)架上

電子設(shè)備機(jī)架位于操作員視線之外

通過 APT UI 控制整個(gè)系統(tǒng)

從法蘭到機(jī)架的整潔電纜管理

針對(duì)電路編輯應(yīng)用的 FIB 傾斜探測

非磁性設(shè)計(jì)

可用于5納米及更高