Foup清洗機(jī)_晶圓FOUP清洗設(shè)備_蘇州芯矽科技

Foup清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中，用于清洗FOUP、FOSB、Cassette等所有類型的晶圓料盒。這些料盒在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中用于裝載和轉(zhuǎn)運(yùn)晶圓，因此保持其清潔度對(duì)于提高生產(chǎn)效率與質(zhì)量至關(guān)重要。

使用說(shuō)明

準(zhǔn)備工作：在使用前，需對(duì)設(shè)備進(jìn)行準(zhǔn)備和校驗(yàn)，確保設(shè)備處于良好的工作狀態(tài)。同時(shí)準(zhǔn)備好清洗液，并對(duì)清洗液進(jìn)行檢測(cè)，以確定其成分和濃度是否符合要求。

裝入FOUP：將待清洗的FOUP裝入專用的清洗器具中，通常是可以封閉的清洗槽，以確保FOUP在清洗過(guò)程中不受外界污染。

預(yù)洗：先預(yù)洗，一般采用超純水來(lái)沖洗FOUP表面，去除表面的大部分雜質(zhì)和塵埃。這一步驟有助于減輕后續(xù)清洗液的工作負(fù)擔(dān)，提高清洗效率。

清洗液清洗：在預(yù)洗后，使用專用的清洗液對(duì)FOUP進(jìn)行清洗。清洗液的選擇通常根據(jù)所需清洗的污染物種類和FOUP的材料來(lái)確定。清洗過(guò)程中可能會(huì)涉及到溫度和浸泡時(shí)間等參數(shù)的調(diào)整，以達(dá)到清洗效果。

沖洗：清洗液清洗完成后，需要用超純水對(duì)FOUP進(jìn)行沖洗，去除清洗液和污染物的殘留。沖洗過(guò)程通常采用多次的水沖洗，以確保清洗干凈。

烘干：沖洗后，需要將FOUP進(jìn)行烘干。烘干方式一般采用熱風(fēng)吹干，以確保FOUP內(nèi)外均干燥，無(wú)任何水分殘留。

檢查和質(zhì)量控制：最后，對(duì)清洗后的FOUP進(jìn)行質(zhì)量檢查，包括外觀檢查、殘留污染物的檢測(cè)等，以確保清洗效果符合要求。