PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機
- 公司名稱 深圳深光達科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地 深圳
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/6/22 21:35:58
- 訪問次數(shù) 97
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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
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VPS-RF10是一款小型科研用射頻真空等離子清洗機,擁有多層處理電極,有效提高腔體利用率,滿足多種清洗需求 。其原理是利用高頻的交變電場作用于真空氣體中,形成大量的等離子體,通過復雜的物理和化學過程來去除材料表面的污染物。采用這種方法能夠提升材料的粘附性與濕潤性,去除不同類型的污染物和雜質,從而為之后的工序奠定良好的基礎。
PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機特點:進口等離子電源電路技術、放電結構,確保等離子體均勻分布
PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機應用:提高親水性、提高粘接性、有機物清洗、PDMS鍵合、硅片玻璃清洗、氧化物還原
產品參數(shù):
型號 | VPS-RF10 |
等離子頻率 | 13.56MHz自動阻抗匹配 |
極限真空度 | 1Pa |
功率 | 0-300W(可調) |
腔體尺寸 | 230(L)*270(D)*200(H)mm |
腔體容積 | 11L |
單層有效處理面積 | 210(L)×220(D)mm |
處理層數(shù) | 3層 |
極板間距 | 58mm |
腔體材質 | 進口級316L不銹鋼 |
氣路數(shù)量 | 2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮氣,氫氣等(腐蝕性氣體需定制) |
控制方式 | PLC+觸摸屏 |
電源 | AC220V/50Hz |
外形尺寸 | 550mm(L)×580mm(W) ×500mm(H) |