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VPS-RF60 中型真空等離子清洗機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳深光達(dá)科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地 深圳
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/6/22 21:37:01
  • 訪問次數(shù) 97

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我們注于等離子(PLASMA)清洗工藝技術(shù)和相關(guān)裝備的研發(fā)生產(chǎn),核心技術(shù)源自歐美二十年等離子體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。公司核心團(tuán)隊(duì)來自中科院等離子體物理研究所、德國Diener、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、北京大學(xué)等國內(nèi)科研機(jī)構(gòu),其開發(fā)的等離子清洗裝備已廣泛應(yīng)用于高校、半導(dǎo)體、汽車、電子行業(yè)、3C行業(yè)、印刷行業(yè)生物等行業(yè)域。深光達(dá)科技成立至已為清華大學(xué)、西安交通大學(xué)、比亞迪、蘭州大學(xué)、深圳大學(xué)、香港大學(xué)、提供過等離子處理設(shè)備和解決方案, 我們將不斷為材料表面處理開發(fā)創(chuàng)新方案,致力于為用戶提供等離子表面處理與檢測整體解決方案。深圳深光達(dá)科技有限公司深耕等離子技術(shù)域十余載,表面處理解決方案服務(wù)商。公司自主研發(fā)的真空、大氣常壓及微波等離子清洗設(shè)備,精準(zhǔn)清洗與活化,設(shè)備連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定性達(dá)99.6%以上,通過ISO 9001/14001雙體系認(rèn)證。其低溫真空等離子去膠機(jī)**在半導(dǎo)體封裝環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)每小時(shí)300片晶圓的量產(chǎn)處理,刻蝕均勻性誤差<3%,助力客戶良品率提升20%+。針對(duì)汽車內(nèi)飾、醫(yī)療導(dǎo)管等復(fù)雜曲面,**常壓旋轉(zhuǎn)噴槍系統(tǒng)**可完成360°處理,表面張力值穩(wěn)定提升至72mN/m以上?,F(xiàn)已在富士康、比亞迪等200+企業(yè)產(chǎn)線中實(shí)現(xiàn)7×24小時(shí)不間斷作業(yè),設(shè)備MTBF突破8000小時(shí),以航空品質(zhì)重新定義工業(yè)清洗標(biāo)準(zhǔn)。主營產(chǎn)品有等離子清洗機(jī),等離子去膠機(jī),實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī),真空等離子清洗機(jī),低溫等離子清洗機(jī),大氣等離子清洗機(jī),等離子表面處理機(jī),等離子刻蝕機(jī),晶圓清洗機(jī),反應(yīng)離子刻蝕機(jī),旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀

 

 

等離子清洗機(jī),等離子清洗器,實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī),真空等離子清洗機(jī),低溫等離子清洗機(jī),大氣等離子清洗機(jī),等離子表面處理機(jī),等離子刻蝕機(jī),晶圓清洗機(jī),旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

VPS-RF60 中型真空等離子清洗機(jī)簡介:

VPS-RF60是一款中型真空等離子清洗機(jī),通過PLC提供穩(wěn)定的過程控制,設(shè)備運(yùn)行的實(shí)時(shí)參數(shù)通過觸摸顯示屏直觀呈現(xiàn),軟件控制系統(tǒng),操作簡單,能接控制設(shè)備及設(shè)定各種清洗工藝曲線,并根據(jù)工藝不同進(jìn)行設(shè)定、修改、存儲(chǔ)、調(diào)用;軟件自帶分析功能,能對(duì)工藝曲線進(jìn)行分析。軟件控制系統(tǒng)自動(dòng)的實(shí)時(shí)記錄清洗工藝參數(shù)及溫度曲線、時(shí)間、報(bào)警相關(guān)數(shù)據(jù),保證產(chǎn)品清洗工藝的可追溯性。13.56MHz射頻電源與自動(dòng)匹配系統(tǒng),具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復(fù)性,多樣化可選氣體配置,靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案滿足不同類型產(chǎn)品的清洗工藝要求。


   

VPS-RF60 中型真空等離子清洗機(jī)


VPS-RF60 中型真空等離子清洗機(jī)特點(diǎn):歐美放電技術(shù),專業(yè)型放電結(jié)構(gòu),科學(xué)仿真等離子體分布均勻,處理效果均勻


產(chǎn)品應(yīng)用:去除表面有機(jī)物、表面油污清洗、提高表面親水性、改善表面粘接性、提高表面附著力、提高綁定性能


產(chǎn)品參數(shù):

型號(hào)

VPS-RF60

等離子頻率

13.56MHz 自動(dòng)阻抗匹配

工作真空度

10-100Pa

功率

0-600W連續(xù)可調(diào)

腔體材質(zhì)

進(jìn)口級(jí)316L不銹鋼/航空鋁合金(可選)

腔體尺寸

400(W)*450(D)*380(H)mm

腔體容積

69L

單層有效處理面積

W365mm x D375mm

氣路數(shù)量

2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮?dú)猓瑲錃獾龋ǜg性氣體需定制)

處理層數(shù)

6層(可定制)

控制方式

PLC+觸摸屏

真空泵

油泵/干泵(可選)

電源

AC380V,50/60Hz

外形尺寸

900mm(L)×1100mm(W) ×1800mm(H)




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