Model 32 UV LED 光源

OAI 推出第二代紫外發(fā)光二極管（UV LED）光源。我們全新的 LED 光源系列秉持著與久負盛名的汞弧光源相同的質量和性能標準打造，同時具備固態(tài)技術與生俱來的優(yōu)勢。我們的紫外 LED 光源系列可應用于光刻、固化、微流體以及生物醫(yī)學激活等領域。該全新光源系列可集成到原始設備制造商（OEM）的應用中，與 OAI 掩模對準器配合使用，改裝到傳統(tǒng)掩模對準器上，或作為獨立曝光工具購置 。

LED 光源相較于傳統(tǒng)汞弧燈有幾個固有的優(yōu)勢。兩個明顯的主要優(yōu)勢是能耗和擁有成本。在進行曝光的整個過程中，汞弧燈必須一直開啟。考慮到電源效率，1000 瓦的汞弧燈實際消耗的電量甚至超過 1000 瓦。在 8 小時的生產周期內，燈可能要開啟 9 個多小時，耗電量超過 9 千瓦時。相比之下，LED 光源（LED LS ）僅在工藝的實際曝光時間內開啟。例如，如果曝光時長為 10 秒，且每分鐘曝光一次，那么在 8 小時的輪班中，總曝光時間將為 1.33 小時。以 1000 瓦功率計算，LED 光源的總耗電量僅為 1.3 千瓦時，節(jié)能幅度超過 6 倍！

汞弧燈的第二個主要缺點是其使用壽命，這導致了更高的擁有成本。大多數(shù)汞弧燈使用約 1000 小時后就需要更換。更換燈時需要讓設備離線以進行更換操作，進一步增加了擁有成本。通常，還需要重新校準強度控制回路，這可能會導致工藝波動和產量損失。相比之下，LED 光源無需更換燈。LED 的使用壽命非常長，且僅在實際曝光時間內開啟。這使得該光源在達到使用壽命前能夠進行數(shù)百萬次曝光 。

LED 光源設計相關要點

OAI LED 光源（LED LS）的設計確保了系統(tǒng)中單個 LED 的自然老化不會影響光源輸出光束的質量。光線從 LED 收集后，先經(jīng)過準直，再通過一組微透鏡實現(xiàn)光束均勻化。最終，光線被準直為具有小發(fā)散角的高度均勻光束。這種設計能產生光束質量，使 OAI LED 光源的用戶在接觸式和接近式光刻中實現(xiàn)最高性能。其界面是一個簡單的觸摸屏，用戶可通過它控制光源的輸出功率，若是多波長系統(tǒng)，還能控制所需波長的比例 。

LED 光源的性能特點

OAI LED 光源具有優(yōu)異的性能特點。典型的輻照度均勻性為 ±3%，準直角 < 2.5°。為實現(xiàn)精確且可重復的曝光，所有 OAI LED 光源均配備強度和劑量控制。典型 8 英寸方形 LED 光源的光束特性如下：強度分布具有平坦的空間均勻性，半高全寬輻射強度對應的準直角為 1.8° 。

LED 光源配置

LED 光源（LS）的標準光束尺寸為 4 英寸方形、6 英寸方形、8 英寸圓形和 12 英寸方形。該系統(tǒng)可配置為單波長或雙波長模式，標準波長包括 365nm、405nm 和 436nm—— 這些波長均模擬了光刻膠優(yōu)化所基于的汞弧燈光譜，特殊波長可按需定制。各標準波長的光譜分布及相對積分功率如下所示。