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1200℃滑動(dòng)式單溫區(qū)/雙溫區(qū)/三溫區(qū)CVD系統(tǒng)
參考價(jià) | 面議 |
- 型號(hào)
- 品牌 其他品牌
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
- 所在地 天津市
更新時(shí)間:2024-10-28 14:10:02瀏覽次數(shù):5298
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源 |
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1200℃滑動(dòng)式單溫區(qū)/雙溫區(qū)/三溫區(qū)CVD系統(tǒng)產(chǎn)品用途:
此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控
生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)真空淬火退火,快速降溫等工藝實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品組成:
CVD系統(tǒng)配置:
1、1200度開(kāi)啟式真空管式爐(可選配多溫區(qū))。
2、滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng),并配有風(fēng)冷系統(tǒng)。
3、多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
4、真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)
1200℃滑動(dòng)式單溫區(qū)/雙溫區(qū)/三溫區(qū)CVD系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):
1、控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過(guò)沖,性能可靠,操作簡(jiǎn)單。
2、中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵,防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。
3、(電動(dòng))滑動(dòng)系統(tǒng)采用溫度控制器自動(dòng)控制爐體移動(dòng),等程序完成,爐體按設(shè)定的速度滑動(dòng),因有滑動(dòng)限位功能爐體不會(huì)發(fā)生碰撞,待樣品露出爐體后,通過(guò)風(fēng)冷系統(tǒng)快速降溫。
產(chǎn)品圖片:
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