EVG光刻機

掩模對準曝光機 光刻膠處理系統(tǒng)

EVG鍵合機

對準設備 晶圓鍵合機 直接鍵合設備 臨時鍵合/解鍵合 金屬鍵合設備

晶圓關鍵尺寸測量

EVG納米壓印機

UV-NIL/SmartNIL紫外壓印 納米壓印母版制作系統(tǒng)

膜厚儀

Thetametrisis膜厚儀 光學相干斷層掃描 全自動同質膜厚測量系統(tǒng) 硬化涂層膜厚儀 Filmetrics膜厚儀

防震臺

Herz TDI氣浮式被動防震臺 Herz AVI系列主動防震臺 Herz 電鏡隔振臺 DAEIL DVIA-T主動防振臺 Stefan Mayer主動消磁系統(tǒng)

晶圓厚度測量

硅片厚度測量儀 半自動晶圓厚度測量

應力測量

FSM應力儀 ilis應力儀

3D形貌儀/白光干涉輪廓儀

白光干涉儀 彩色共聚焦輪廓儀 Filmetrics 3D光學輪廓儀 白光干涉+共聚焦一體機 晶圓形貌和參數檢測

光學鏡頭對準系統(tǒng)(定心儀)

片電阻測量儀

薄膜電阻測量儀

晶圓缺陷檢測

全自動AOI系統(tǒng) 雙2D AOI系統(tǒng) LAZIN

等離子去膠

微波等離子清洗

橢偏儀

FilmSense 橢偏儀

臺階儀

4D 動態(tài)激光干涉儀

PhaseCam 6010 PhaseCam 4030

光學粗糙度測試儀

電容式位移傳感器

Microsense 位移傳感器

磁性材料檢測設備

全自動測量機臺

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