高速3D激光共聚焦顯微鏡

NS3600 高速3D激光共聚焦顯微鏡是韓國(guó)Nanoscope Systems 公司生產(chǎn)的一種可靠的三維（3D）測(cè)量高速共焦激光掃描顯微鏡（CLSM）。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu)，如半導(dǎo)體晶片，F(xiàn)PD產(chǎn)品，MEMS設(shè)備，玻璃基板，材料表面等方面擁有*的解決方案。?NS3600 采用的是638nm 的激光作為光源，測(cè)量時(shí)無(wú)需與樣品表面接觸即可獲

NS3600三維激光共聚焦顯微鏡

NS-3600是一種可靠的三維(3D)測(cè)量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu)，如半導(dǎo)體晶片，F(xiàn)PD產(chǎn)品，MEMS設(shè)備，玻璃基板，材料表面等方面擁有*的解決方案。

Features & Benefits（性能及優(yōu)勢(shì)）：

• 高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測(cè)量                               自動(dòng)傾斜補(bǔ)償

• 實(shí)時(shí)共焦成像                                                 簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)分析模式

• 多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

  大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測(cè)

• 實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像                            無(wú)樣品準(zhǔn)備

• 自動(dòng)聚焦

Software (軟件）：

Application field（應(yīng)用領(lǐng)域）：

NS-3500是測(cè)量低維材料的有前途的解決方案。

可測(cè)量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度，寬度，角度，面積和體積，例如

-半導(dǎo)體:IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測(cè)，CMP工藝

- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測(cè)，ITO圖案，LCD柱間距高度

- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽(yáng)能電池，太陽(yáng)能電池紋理，激光圖案

-材料研究:模具表面檢測(cè)，粗糙度，裂紋分析

Specifications（規(guī)格）：

Model	Microscope                         NS-3600					備注
物鏡倍率		10x	20x	50x	100x
觀察/  測(cè)量范圍	水平 (H): μm	1400	700	280	140
	垂直 (V): μm	1050	525	210	105
WD: mm		16.5	3.1	0.54	0.3
數(shù)值孔徑(N.A.)		0.30	0.46	0.80	0.95
觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)		針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
高度測(cè)量	測(cè)量掃描范圍	10mm
	顯示分辨率	0.001 μm
	重復(fù)率 σ	0.02 μm				注1
寬度測(cè)量	顯示分辨率	0.001 μm
	重復(fù)率 3σ	0.03 μm				注 2
幀記憶	像素	1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96
	單色圖像	12 bit
	彩色圖像	8-bit for RGB each
	高度測(cè)量	16 bit
幀速率	表面掃描	20 Hz to 160 Hz
	線掃描	~8 kHz
激光接收元件		PMT (光電倍增管)
激光	波長(zhǎng)	638nm (2mW)
光學(xué)觀察照相機(jī)	成像元件	彩色圖像 CCD 傳感器
	記錄分辨率	1296x966
數(shù)據(jù)處理單元		PC
電源	電源電壓	100 to 240 VAC, 50/60 Hz
	電流消耗	500 VA max.
重量	顯微鏡	大約. ~50 kg (測(cè)量頭大約: ~12 kg)
	控制器	~8 kg
隔振系統(tǒng)		氣浮隔振				Option

注1:100次測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)樣品(1μm高度)  100 x/ 0.9物鏡。

注2:100次測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)樣品(5μm 間距)  100 ×/ 0.9物鏡。