這套飛秒激光微加工平臺特別為飛秒激光微加工用戶而設計的納米級激光微加工平臺，廣泛適合主流的飛秒激光器和皮秒激光器，全面滿足科學家和工程師自我搭建激光微加工系統(tǒng)的要求, 已經(jīng)在美國和歐洲被科學家和激光微納設備制造商廣泛采購使用。
這套激光微加工平臺采用微加工領域主流的花崗巖架構，有效濾除振動對微加工的影響，確保激光光束相對樣品表面保持的穩(wěn)定。
激光微加工平臺采用罕見的納米位移平臺為樣品提供定位，保持了的定位精度，可靠性和重復性。
飛秒激光微加工平臺參數(shù)：
行程范圍：375mm x 200mm x 25(50)mm x 360° x 360°
分辨率：X,Y,Z=50nm,   θz/x =1.095arc sec
精度： X,Y,Z =+/-1um， θz/x =10arc sec
重復精度：X,Y,Z =0.75um， θz/x =3arc sec
正交性：X-Y-Z =3arc sec,  θz-θx =10arc sec
加速度：1G
行進速度：500mm/sec
穩(wěn)定性：1nm

控制器部分
電壓：220VAC 專業(yè)為中國電力狀況而設計
電源：5/10Amp
五軸控制能力
接口：網(wǎng)線或USB