太陽能電池單面干法刻蝕機是專業(yè)為晶圓刻蝕設(shè)計的干法蝕刻機。
這款太陽能電池刻蝕機專為小型試驗線和科學(xué)研究機構(gòu)設(shè)計,圍繞一個ADE反應(yīng)堆建造的.可配備自動裝載機/卸載機，以提供*高的吞吐量。它對用戶友*，可以非常快速地啟動，典型的蝕刻/紋理處理持續(xù)時間不到一分鐘。無需真空或等離子體，該干式蝕刻工具不同于反應(yīng)離子蝕刻（RIE）工具。
快速啟動-易于維護
一旦工具達到工藝溫度，工藝即可開始，并立即產(chǎn)生穩(wěn)定的結(jié)果。工藝氣體由質(zhì)量流量計精確控制。一旦晶片從工具中出來，它們就可以用于下一個加工步驟；快速而有效的蝕刻，無論是對于幾片晶圓，還是大批量晶圓！該工具還設(shè)計為易于維護和接近化學(xué)反應(yīng)器。
通用,適合多種蝕刻需要
通用硅蝕刻/紋理化解決方案。允許使用金剛石線切割晶片、外延晶片、鑄造晶片、單晶和多晶。也適用于Si沉積層，如非晶硅（a-Si）和多晶硅層

太陽能電池單面干法刻蝕機應(yīng)用
正面紋理/黑硅/納米和微紋理
單面蝕刻/紋理
Mc-Si金剛石線切割晶片紋理
TOPCON電池的單面非晶硅（a-Si）去除
鑄造晶片、UMG、外延晶片紋理
無ARC層太陽能電池的發(fā)展
薄膜蝕刻/紋理
發(fā)射極回蝕和選擇性發(fā)射極方案
圖案蝕刻/選擇性蝕刻
背面發(fā)射器移除和平整
鋸傷清除
簡化的PERC流程
多孔層吸氣