XUV/VUV極紫外光譜儀是一款掠入射XUV-VUV光譜儀器和極紫外光柵光譜儀器,非常適合表征測量短脈沖激光發(fā)射。
XUV/VUV極紫外光譜儀由掠入射振幅光柵和高靈敏度CCD組成,適合探測6eV到210eV能量范圍。絕對光學(xué)強(qiáng)度和光譜校準(zhǔn)后，可精確測量激光XUV-VUV源（例如DPP和LPP源）發(fā)射的紫外光子數(shù)以及等離子體表面或氣體介質(zhì)中的高次諧波產(chǎn)生。

XUV/VUV極紫外光譜儀特點(diǎn)
振幅光柵 光譜儀
適合6nm~200nm寬光譜范圍內(nèi)的絕對測量
適合探測6eV到210eV能量范圍
-掠入射振幅光柵，為一級光衍射提供極寬的光譜范圍
-高量子效率CCD
-緊湊型設(shè)計
XUV/VUV極紫外光譜儀分光計設(shè)計原則：
•與獨(dú)立透射光柵相比，掠入射振幅光柵具有更高的可靠性和魯棒性，同時為軟X射線的整個光譜范圍提供了更高的靈敏度
•使用平振幅反射光柵可以避免所有偶數(shù)級衍射，并對高奇數(shù)級進(jìn)行深度抑制，從而實(shí)現(xiàn)高信號和低噪聲測量
•該方案中沒有聚焦元件，使得在所有光譜范圍內(nèi)都能可靠地工作，因此設(shè)計非常緊湊
•CCD探測器具有穩(wěn)定的量子響應(yīng)，可以方便地進(jìn)行定量測量
與透射光柵光譜儀相比，XUV/VUV極紫外光譜儀在6nm以下的整個光譜范圍內(nèi)保持高靈敏度：

XUV/VUV極紫外光譜儀規(guī)格
光譜范圍：6-200nm
分辨率：λ/Δλ=50
掠射角：6度
縫寬：80um（默認(rèn)），可根據(jù)要求更改
格柵：TGZ-2（NT-MDT©），工作區(qū)3x3mm
可用探測器：
1、東芝1304AP CCD線，3600個元素，像素周期8um，敏感部分6um，無機(jī)熒光粉
2、Hamamatsu S7030/S7031系列1024x122像素，24um周期
3、ANDORDX440-BN相機(jī)，2048x512，13.5微米周期
或客戶要求的其他CCD探測器。