顯微分光光度計(jì)MicroSpectrophotomete是多功能顯微薄膜測厚測量儀,結(jié)合顯微鏡測量薄膜吸收率,透過率,反射率以及薄膜熒光。這款顯微分光光度計(jì)通過測量薄膜反射率快速測量薄膜厚度,測量薄膜光學(xué)常量(n &k)以及薄膜thick film stacks。
顯微分光光度計(jì)應(yīng)用
測量薄膜吸收率,透過率
測量化學(xué)薄膜和生物薄膜測量
光電子薄膜結(jié)構(gòu)測量
半導(dǎo)體制造
聚合物測量
在線測量
光學(xué)鍍膜測量
整套顯微分光光度計(jì)的組成是：光柵光譜儀（200-1100nm)+顯微鏡目鏡 適配器+軟件+顯微鏡（可選）。其中目鏡適配器包含鏡頭，可增加光的收集。標(biāo)準(zhǔn)的40X物鏡可做到測量點(diǎn)直徑約200微米。*高倍數(shù)的物鏡的測量點(diǎn)*小。

顯微分光光度計(jì)軟件  
這款薄膜測試儀配備專業(yè)的儀器控制，光譜測量和薄膜測量功能的軟件，具有廣闊的應(yīng)用范圍。該薄膜厚度測試儀軟件能夠?qū)崟r(shí)采集吸收率，透過率，反射率和熒光光譜，并且能夠能夠快速計(jì)算出結(jié)果。
對于吸收率/透過率模式的配置，所有的典型參數(shù)如 A, T可快速計(jì)算出來。其他的非標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，如signal integration也能測量出來。
對于反射率測量，該薄膜厚度測試儀軟件能夠精確測量膜層小于10層薄膜厚度（《10nm到100微米）， 光學(xué)常量（n & k)。

顯微分光光度計(jì)軟件的顯示

顯微分光光度計(jì)和自動(dòng)晶圓傳輸加載系統(tǒng)的連用-用于晶圓薄膜測量

顯微分光光度計(jì)-具有成像和光譜對應(yīng)測量功能

顯微分光光度計(jì)的樣品成像功能
顯微分光光度計(jì)標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)