Cygnus 2薄膜沉積控制器 返回列表頁

OLED 應(yīng)用程序提供*佳測量精度。Cygnus 2薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎(chǔ)上，增添了更多不一般的功能，可幫助您實(shí)現(xiàn)OLED 過程的*大價(jià)值。Cygnus 2 使用我們 ModeLock 頻率測量系統(tǒng)，提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測量，速率分辨率可達(dá)每 1/10 秒 0.00433 ?/s。Cygnus 2 具有其他石英晶體控制器無可超越的性能、品質(zhì)和功能，賦予您的過程卓*的可重復(fù)性。

功能

1.INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得很高、極穩(wěn)定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率*低的情況下

2.Auto Z 技術(shù)通過自動(dòng)測定沉積材料的Z比值，可提高厚度測量的精度

3.一個(gè) Cygnus 2 即可同時(shí)、單獨(dú)或以任何組合方式控制超多 6 個(gè)來源，無需使用兩個(gè)或三個(gè)控制器

4.彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進(jìn)展?fàn)顩r

5.10 Hz 測量

6.100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz

7.USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄

8.多個(gè)源厚度合計(jì)功能

9.測量低密度、低速率材料的平均速率（使用穩(wěn)定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積超多30 秒）

10.Cygnus 2薄膜沉積控制器速率顯示分辨率可達(dá)0.001?

11.4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長的真空傳感器電纜

12.無沉積控制允許持續(xù)控制源，因?yàn)榛梢酝ㄟ^沉積室不斷循環(huán)

13.6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控

14.可選以太網(wǎng)通信

15.符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)