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英福康UL1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀返回列表頁

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更新時間：2024-01-24 10:25:21瀏覽次數(shù)：10907次

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應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子,綜合

英?？礥L1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀

INFICON（德國）UL1000 fab移動式氦檢漏儀專門設(shè)計用于滿足苛刻的工業(yè)檢漏要求：具有耐用性強、測試靈活性好、靈敏度高、啟動快，響應(yīng)精準(zhǔn)迅速，系統(tǒng)安可靠等特點。

UL1000 fab符合微電子工業(yè)生產(chǎn)的要求。從堅固的金屬外殼到方便移動的滾輪，至 I·C AL, 用于解除在10 -11 至10 -12 高靈敏漏率范圍中長平衡時間的運算法則，都無不顯示了其*性。

系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護功能。英?？礥L1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀的通風(fēng)系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并解除氦污染。

UL1000 fab氦質(zhì)譜檢漏儀具有可轉(zhuǎn)動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠距離方便地觀察讀值。通過更新軟件，新的固件可通過標(biāo)準(zhǔn)接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝。

應(yīng)用：

1、半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護，該設(shè)備本身帶或未帶有渦輪分子泵

2、工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝

3、元器件在組裝前的漏率測試

4、要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應(yīng)用場合

優(yōu)勢所在：

1、具有*的ICAL本底穩(wěn)定功能，提供在10-12毫巴 •升/ 秒范圍內(nèi)無比*的測量速度和穩(wěn)定性。

2、可270度旋轉(zhuǎn)的顯示器，大而清楚的字體可遠距離方便地觀察讀值。可以數(shù)顯，模擬顯和趨勢顯示三種顯示方式。菜單式控制軟件，易于使用。

3、高性能渦旋式干泵，抽速：25米3/小時@50Hz。

4、德國普發(fā)三級渦輪進氣分子泵，抽速：>70升/秒，采用半磁懸浮軸承，即使90000轉(zhuǎn)/分鐘的轉(zhuǎn)速也不會磨損軸承，高氦壓縮比：比其他檢漏儀高2－4倍。

5、兩條鍍釔的銥絲，當(dāng)一只燈絲斷了以后，能自動切換到另一只。UL1000*的結(jié)構(gòu)設(shè)計使燈絲可耐大氣沖擊和污染。離子源保修3年。

6、UL1000采用全逆擴散檢漏方式，即使是在精檢和超精檢模式依然采用逆擴散檢漏方式。有效地減少對檢漏儀質(zhì)譜室的污染。UL1000的質(zhì)譜室終生免維護。

7、采用毛細管式TL7校準(zhǔn)漏孔，不受環(huán)境溫度變化影響，因此不需要溫度補償。*的測試罐校準(zhǔn)模式不僅校準(zhǔn)儀器，也校準(zhǔn)檢漏罐，是精準(zhǔn)的校準(zhǔn)。

英?？倒驹诒本?，上海和廣州設(shè)有維修中心及備件倉庫，可以提供24小時服務(wù)。工程師全部在德國總部接受過嚴格培訓(xùn)。國內(nèi)的各維修中心存有備用氦檢漏儀，可在緊急情況下提供給用戶免費使用。 INFICON有專門維修代理，可提供日常技術(shù)支持及維修。

技術(shù)參數(shù)：