四極質(zhì)譜儀 返回列表頁

INFICON（英?？担?strong>四極質(zhì)譜儀(RGA)有簡(jiǎn)易的高功能儀器用于監(jiān)測(cè)真空系統(tǒng)，準(zhǔn)確地辨別常規(guī)的殘余氣體，便于及時(shí)檢測(cè)真空問題與快速解除故障。這臺(tái)全內(nèi)置的儀器可容易地連接任何真空室，內(nèi)置程序和TCP/IP接口，用于控制ToolCheck和運(yùn)行于系統(tǒng)控制器的標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)頁瀏覽器查閱結(jié)果，無需外接計(jì)算機(jī)。 簡(jiǎn)單的指令組易于寫入用戶特定的碼，將ToolCheck集成于您的系統(tǒng)控制器。

Transpector 2的特點(diǎn)：

1、100－， 200－，和 300－amu 系統(tǒng)帶法拉第杯或電子倍增器 / 法拉第杯的組合。

2、改進(jìn)的氫檢測(cè)。

3、與原始的 Transpector 相比訊噪比提高 10 倍。

4、快速掃描低值訊號(hào)。

5、個(gè)量級(jí)的電子學(xué)動(dòng)態(tài)量程。

6、用于單傳感器和多傳感器系統(tǒng)的軟件選件。

7、分壓測(cè)量從 1 × 10 -4 乇至 2 × 10 -14 乇。

Transpector 2 是基于四極場(chǎng)的智能傳感器，全部傳感器電子驅(qū)動(dòng)加上微處理器安裝在一個(gè)附在傳感器上的小型、輕便的密閉匣內(nèi)。由于它是智能的傳感器，具有相當(dāng)?shù)撵`活度，您可以使用當(dāng)前的計(jì)算機(jī)或從 INFICON 選購(gòu) PC 和軟件包。兩種通訊鏈接， RS232 用于單傳感器， RS485 用于多傳感器配置，將 Transpector2  連接控制計(jì)算機(jī)。簡(jiǎn)單的指令協(xié)議支配全部 Transpector功能。

RGA殘余氣體分析儀（四極質(zhì)譜儀）應(yīng)用：

1、檢漏

2、真空設(shè)備本底狀況鑒定

3、在線工藝氣體監(jiān)測(cè)分析

4、真空系統(tǒng)泄漏（內(nèi)漏,外漏）

5、可設(shè)置報(bào)警點(diǎn),實(shí)現(xiàn)報(bào)警功能

與氦質(zhì)譜檢漏儀的區(qū)別:

真空系統(tǒng)本底狀態(tài)鑒定

在系統(tǒng)達(dá)到極限真空時(shí)測(cè)定殘余氣體的種類和量值

真空系統(tǒng)污染監(jiān)測(cè)和控制

清洗介質(zhì)殘留,返油（碳?xì)浠衔铮?表面放氣（空氣, H2O,   O2, CO, CO2）

通過軟件中的標(biāo)準(zhǔn)氣體庫,可確定氣體成分

真空工藝監(jiān)控

在線監(jiān)控:實(shí)時(shí)反映工藝異常或偏差

數(shù)據(jù)按時(shí)間自動(dòng)存儲(chǔ)（SOD文件）以便日后追溯進(jìn)行工藝分析：

繼電器輸出可用于控制閥門

模擬輸出可連線PLC

鍍膜工藝研究開發(fā)

各種工藝氣體的相對(duì)比例對(duì)工藝/產(chǎn)品的影響

RGA的選用 - 為您的鍍膜機(jī)選擇合適的RGA

小可檢分壓強(qiáng)（MDPP）

法拉第杯（FC）:  3 x 10-13 Torr

電子倍增器（EM）+法拉第杯（FC）:10-14~10-15 Torr

質(zhì)量數(shù)（AMU）

取決于需要探測(cè)的氣體

100AMU傳感器 探測(cè)范圍: 1-100AMU

200AMU傳感器 探測(cè)范圍: 1-200AMU

300AMU傳感器 探測(cè)范圍: 1-300AMU

絕大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用僅需100AMU傳感器

工作壓強(qiáng)范圍

標(biāo)準(zhǔn)RGA: < 5 x 10-4 Torr

高壓強(qiáng)型XPR3: < 1 x 10-2 Torr

若需在更高壓強(qiáng)下工作, 須使用取樣系統(tǒng)（IPC400）