邁可諾技術(shù)有限公司

主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機

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葉盛
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FR-portable便攜式光學(xué)膜厚儀
便攜式光學(xué)膜厚儀
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 FR-portable
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市

更新時間:2024-05-16 21:20:30瀏覽次數(shù):5628

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【簡單介紹】
產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,汽車
品牌:希臘ThetaMetrisis
名詞:膜厚儀 膜厚儀、測厚儀、干涉儀、厚度測量儀
干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動,而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起,所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量,從而測得與此有關(guān)的其他物理量。
【詳細說明】

 

便攜式膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成:

Α白熾-LED混合集成式光源系統(tǒng),通過內(nèi)嵌式微處理器控制,使用壽命超過20000小時。

小型光譜儀,光譜范圍370nm –1050nm,分辨精度可達3648像素, 16位級 A/D 分辨精度;配有USB通訊接口;

Β) FR-Monitor膜厚測試軟件系統(tǒng),

可精確計算如下參數(shù):

1)單一或堆積膜層的厚度;

2)靜態(tài)或動態(tài)模式下,單一膜層的折射率;本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫,可以有效地協(xié)助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率,透射率和反射率的測量,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用授權(quán),即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結(jié)果分析使用。

C) 參考樣片:

a) 經(jīng)校準過的反射標準硅片;

b) 經(jīng)校準過的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片;

c) 經(jīng)校準過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片;

D) 反射探針臺和樣片夾具

可處理大的樣品尺寸達200mm, 包含不規(guī)則的尺寸等;

手動調(diào)節(jié)可測量高度可達50mm

可針對更大尺寸訂制樣片夾具;

Ε) 反射率測量的光學(xué)探針

內(nèi)嵌系統(tǒng)6透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm;

F) 附件

FR-portable透射率測量套件;

Thickness measurement range

12nm – 90μm

Refractive Index calculation

P

Thickness measurement Accuracy

0.2% or 1nm

Thickness measurement Precision

0.04nm or 1‰ (0.01nm)

Thickness measurement stability

0.02nm

Sample size

1mm to 200mm and up

Spectral Range

400nm – 1100nm

Working distance

3mm-20mm

Spot size

0.35mm (diameter of the reflectance area)

Light Source Lifetime

20000h

Wavelength resolution

0.8nm

Number of Layers Measured

Max. 5 layers

Measurement time (max acquisition speed)

10ms/point

A/D converter

16 bit

Power

USB – supplied

Dimensions

300mm x 110mm x 40mm



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