邁可諾技術(shù)有限公司

主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

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公司信息

聯(lián)系人：
葉盛
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4008800298
手機(jī)：
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地址：
洪山區(qū)珞獅南路147號未來城A棟
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WS-650MZ-23NPPB/UD3B勻膠機(jī)650MZ-23UD3B
勻膠機(jī)650MZ-23UD3B
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 WS-650MZ-23NPPB/UD3B
  • 品牌 Laurell
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市

更新時間：2024-05-16 12:46:33瀏覽次數(shù)：2626

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【簡單介紹】
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子
勻膠機(jī)650MZ-23UD3B（英文名：Spin Coater）適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜
詳細(xì)介紹：勻膠機(jī)（英文名：Spin Coater& Spin Processor）
行業(yè)俗稱：勻膠臺、勻膠機(jī)、旋涂儀、涂膠機(jī)、鍍膜機(jī)、涂層機(jī)
【詳細(xì)說明】

一、產(chǎn)品概述：

   勻膠機(jī)650MZ-23UD3B型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。美國Laurell勻膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動，可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的*性和均勻性，這正是650S 型勻膠機(jī)的特點(diǎn)。

二、勻膠機(jī)工作原理：
勻膠機(jī)650MZ-23UD3B（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

三、勻膠機(jī)主要性能指標(biāo)：
1、腔體尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；

2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm，小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤）；

3、轉(zhuǎn)動速度：0-12,000rpm，

4、旋涂加速度：0-12000rpm/sec；

5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差 < ±1%；

6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度：<1rpm，重復(fù)性< 0.2rpm；

7、工藝時間設(shè)定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度；

8、勻膠機(jī)材質(zhì)：NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方；

9、高精度數(shù)碼控制器：PLC控制，設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。

10、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；

11、分辨率：分辨率小于1轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±1轉(zhuǎn)/分，美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）認(rèn)證過的，并且無需再校準(zhǔn)！]
12、配套真空泵系統(tǒng)：無油型 220~240伏交流，50/60赫茲；

13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；

14、*水平測試儀；

可選配置：

IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計，帶遠(yuǎn)程控制；

OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計，帶遠(yuǎn)程控制；

UD自動滴膠裝置：UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒，

EBR(Edge Bead Remover)：晶圓去邊，機(jī)械裝置；





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